SiC ilə örtülmüş epitaksial reaktor lüləsi

Qısa Təsvir:

Semicera müxtəlif epitaksiya reaktorları üçün nəzərdə tutulmuş geniş spektrli suseptorlar və qrafit komponentləri təklif edir.

Sənayedə aparıcı OEM-lər, geniş materiallar təcrübəsi və qabaqcıl istehsal imkanları ilə strateji tərəfdaşlıq vasitəsilə Semicera tətbiqinizin xüsusi tələblərinə cavab vermək üçün uyğunlaşdırılmış dizaynlar təqdim edir.Mükəmməlliyə sadiqliyimiz epitaksi reaktor ehtiyaclarınız üçün optimal həllər almağınızı təmin edir.

 

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Təsvir

Şirkətimiz təmin edirSiC örtüyüqrafit, keramika və digər materialların səthində CVD üsulu ilə emal xidmətləri, beləliklə, karbon və silisium olan xüsusi qazlar yüksək temperaturda reaksiya verərək yüksək təmizlikli Sic molekullarını əldə edə bilsin və bu molekullar örtülmüş materialların səthində çökə bilər.SiC qoruyucu təbəqəepitaxy barrel tipli hipnotik üçün.

 

sic (1)

sic (2)

Əsas xüsusiyyətləri

1. Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti:
temperatur 1600 C qədər yüksək olduqda oksidləşmə müqaviməti hələ də çox yaxşıdır.
2. Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində kimyəvi buxarın çökməsi ilə hazırlanmışdır.
3. Eroziya müqaviməti: yüksək sərtlik, kompakt səth, incə hissəciklər.
4. Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri

SiC-CVD Xüsusiyyətləri
Kristal strukturu FCC β fazası
Sıxlıq q/sm³ 3.21
Sərtlik Vickers sərtliyi 2500
Taxıl Ölçüsü μm 2~10
Kimyəvi Saflıq % 99.99995
İstilik tutumu J·kg-1 ·K-1 640
Sublimasiya temperaturu 2700
Feleksual Gücü MPa (RT 4 bal) 415
Gəncin Modulu Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) 430
Termal Genişlənmə (CTE) 10-6K-1 4.5
İstilikkeçirmə (Vt/mK) 300
Semicera İş yeri
Semicera iş yeri 2
Avadanlıq maşını
CNN emalı, kimyəvi təmizləmə, CVD örtüyü
Bizim xidmət

  • Əvvəlki:
  • Sonrakı: