LED etch Silikon karbid daşıyıcı qab, ICP qabı (Etch)

Qısa təsvir:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. vafli və qabaqcıl yarımkeçirici istehlak materialları üzrə ixtisaslaşmış aparıcı təchizatçıdır.Biz yarımkeçirici istehsalına yüksək keyfiyyətli, etibarlı və innovativ məhsullar təqdim etməyə sadiqik,fotovoltaik sənayevə digər əlaqəli sahələr.

Bizim məhsul xəttimizə silikon karbid, silisium nitridi, alüminium oksidi və s. kimi müxtəlif materialları əhatə edən SiC/TaC örtüklü qrafit məhsulları və keramika məhsulları daxildir.

Etibarlı təchizatçı kimi biz istehsal prosesində istehlak materiallarının əhəmiyyətini başa düşürük və müştərilərimizin ehtiyaclarını ödəmək üçün ən yüksək keyfiyyət standartlarına cavab verən məhsulların çatdırılmasına sadiqik.

 

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Məhsul təsviri

Şirkətimiz qrafit, keramika və digər materialların səthində CVD üsulu ilə SiC örtükləmə prosesi xidmətləri göstərir ki, tərkibində karbon və silisium olan xüsusi qazlar yüksək temperaturda reaksiyaya girərək yüksək təmizlikdə SiC molekulları, örtülmüş materialların səthində çökən molekullar, SIC qoruyucu təbəqəsini əmələ gətirir.

Əsas xüsusiyyətlər:

1. Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti:

temperatur 1600 C qədər yüksək olduqda oksidləşmə müqaviməti hələ də çox yaxşıdır.

2. Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində kimyəvi buxarın çökməsi ilə hazırlanmışdır.

3. Eroziya müqaviməti: yüksək sərtlik, kompakt səth, incə hissəciklər.

4. Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.

CVD-SIC Kaplamasının Əsas Xüsusiyyətləri

SiC-CVD Xüsusiyyətləri

Kristal strukturu

FCC β fazası

Sıxlıq

q/sm³

3.21

Sərtlik

Vickers sərtliyi

2500

Taxıl ölçüsü

μm

2~10

Kimyəvi Saflıq

%

99.99995

İstilik tutumu

J·kg-1 ·K-1

640

Sublimasiya temperaturu

2700

Feleksual Gücü

MPa (RT 4 bal)

415

Gəncin Modulu

Gpa (4pt əyilmə, 1300℃)

430

Termal Genişlənmə (CTE)

10-6K-1

4.5

İstilik keçiriciliyi

(Vt/mK)

300


  • Əvvəlki:
  • Sonrakı: