Semicera-dan mavi/yaşıl LED epitaksi yüksək performanslı LED istehsalı üçün qabaqcıl həllər təklif edir. Qabaqcıl epitaksial böyümə proseslərini dəstəkləmək üçün nəzərdə tutulmuş semicera-nın Mavi/yaşıl LED epitaksiya texnologiyası müxtəlif optoelektronik tətbiqlər üçün vacib olan mavi və yaşıl LED-lərin istehsalında səmərəliliyi və dəqiqliyi artırır. Ən müasir Si Epitaxy və SiC Epitaxy istifadə edərək, bu həll əla keyfiyyət və davamlılığı təmin edir.
İstehsal prosesində MOCVD Susceptor, epitaksial böyümə mühitini optimallaşdıran PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier və RTP Carrier kimi komponentlərlə birlikdə həlledici rol oynayır. Semicera-nın Mavi/yaşıl LED epitaksisi ardıcıl, yüksək keyfiyyətli nəticələrin istehsalını təmin edərək, LED Epitaksial Qəbuledici, Barrel Susseptor və Monokristal Silikon üçün sabit dəstək təmin etmək üçün nəzərdə tutulmuşdur.
Bu epitaksiya prosesi Fotovoltaik hissələrin yaradılması üçün çox vacibdir və SiC Epitaxy-də GaN kimi tətbiqləri dəstəkləyir, ümumi yarımkeçirici səmərəliliyi artırır. İstər Pancake Susceptor konfiqurasiyasında, istərsə də digər qabaqcıl quraşdırmalarda istifadə olunsun, semicera-nın Mavi/yaşıl LED epitaksi həlləri istehsalçılara yüksək keyfiyyətli LED komponentlərinə artan tələbatı ödəməyə kömək etməklə etibarlı performans təklif edir.
Əsas xüsusiyyətlər:
1. Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti:
temperatur 1600 C qədər yüksək olduqda oksidləşmə müqaviməti hələ də çox yaxşıdır.
2. Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində kimyəvi buxarın çökməsi ilə hazırlanmışdır.
3. Eroziya müqaviməti: yüksək sərtlik, kompakt səth, incə hissəciklər.
4. Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
Əsas XüsusiyyətləriCVD-SIC örtüyü
| SiC-CVD Xüsusiyyətləri | ||
| Kristal strukturu | FCC β fazası | |
| Sıxlıq | q/sm³ | 3.21 |
| Sərtlik | Vickers sərtliyi | 2500 |
| Taxıl ölçüsü | μm | 2~10 |
| Kimyəvi Saflıq | % | 99.99995 |
| İstilik tutumu | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
| Sublimasiya temperaturu | ℃ | 2700 |
| Feleksual Gücü | MPa (RT 4 bal) | 415 |
| Gəncin Modulu | Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) | 430 |
| Termal Genişlənmə (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
| İstilik keçiriciliyi | (Vt/mK) | 300 |
