Əsas xüsusiyyətləri:
1. Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti:
temperatur 1600 C qədər yüksək olduqda oksidləşmə müqaviməti hələ də çox yaxşıdır.
2. Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində kimyəvi buxarın çökməsi ilə hazırlanmışdır.
3. Eroziya müqaviməti: yüksək sərtlik, kompakt səth, incə hissəciklər.
4. Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.
Əsas XüsusiyyətləriCVD-SIC örtüyü
SiC-CVD Xüsusiyyətləri | ||
Kristal strukturu | FCC β fazası | |
Sıxlıq | q/sm³ | 3.21 |
Sərtlik | Vickers sərtliyi | 2500 |
Taxıl Ölçüsü | μm | 2~10 |
Kimyəvi Saflıq | % | 99.99995 |
İstilik tutumu | J·kg-1 ·K-1 | 640 |
Sublimasiya temperaturu | ℃ | 2700 |
Feleksual Gücü | MPa (RT 4 bal) | 415 |
Gəncin Modulu | Gpa (4pt əyilmə, 1300℃) | 430 |
Termal Genişlənmə (CTE) | 10-6K-1 | 4.5 |
İstilikkeçirmə | (Vt/mK) | 300 |