TheMOCVDüsul hazırda sənayedə birfazalı InGaN epilayları, III-N materialları və çox kvant quyu strukturlu yarımkeçirici plyonkalar kimi yüksək keyfiyyətli tək kristal nazik təbəqələrin yetişdirilməsi üçün istifadə edilən ən stabil proseslərdən biridir və bu prosesdə böyük əhəmiyyət kəsb edir. yarımkeçirici və optoelektron cihazların istehsalı.
TheSiC örtüklü MOCVD həssaslığıüçün silikon karbid (SiC) ilə örtülmüş xüsusi vafli tutucudurepitaksial metal üzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) prosesində artım.
SiC örtüyü əla kimyəvi müqavimətə və istilik sabitliyinə malikdir, bu da onu epitaksial böyümə proseslərində istifadə olunan MOCVD həssasları üçün ideal seçim edir.
MOCVD prosesinin əsas komponenti istehsal olunan nazik təbəqələrin vahidliyini və keyfiyyətini təmin edən əsas element olan susseptordur.
Həssaslayıcı nədir? Suseptor, nazik təbəqənin çökdüyü substratı dəstəkləmək və qızdırmaq üçün MOCVD prosesində istifadə olunan xüsusi komponentdir. Elektromaqnit enerjisini udmaq, onu istiliyə çevirmək və istiliyi substratda bərabər paylamaq da daxil olmaqla bir çox funksiyaya malikdir. Bu vahid isitmə dəqiq qalınlığa və tərkibə malik vahid nazik təbəqələrin böyüməsi üçün vacibdir.
Sensorların növləri:
1. Qrafit həbləri: Qrafit həssasları çox vaxt qoruyucu təbəqə ilə örtülür, məsələnsilisium karbid (SiC), yüksək istilik keçiriciliyi və sabitliyi ilə tanınır. TheSiC örtüyüyüksək temperaturda korroziyaya və deqradasiyaya davamlı olan sərt, qoruyucu səth təmin edir.
2. Silikon karbid (SiC) qəbulediciləri: Bu sensorlar tamamilə SiC-dən hazırlanır və əla istilik dayanıqlığına və aşınma müqavimətinə malikdir. SiC həssasları yüksək temperatur prosesləri və korroziyalı mühitlər üçün xüsusilə uyğundur.
MOCVD-də həssaslar necə işləyir:
MOCVD prosesində prekursorlar reaksiya kamerasına daxil edilir, burada onlar parçalanır və substratda nazik bir film meydana gətirmək üçün reaksiya verirlər. Suseptor, substratın bərabər şəkildə qızdırılmasını təmin etməklə mühüm rol oynayır, bu, bütün substrat səthində ardıcıl film xüsusiyyətlərinə nail olmaq üçün vacibdir. Suseptorun materialı və dizaynı temperatur diapazonu və kimyəvi uyğunluq kimi çökmə prosesinin xüsusi tələblərinə cavab vermək üçün diqqətlə seçilir.
Keyfiyyətli əmziklərdən istifadənin üstünlükləri:
• Təkmilləşdirilmiş plyonka keyfiyyəti: Vahid istilik paylanmasını təmin etməklə, qəbuledici yarımkeçirici cihazların performansı üçün vacib olan ardıcıl qalınlığa və tərkibə malik filmlərin əldə edilməsinə kömək edir.
• Təkmilləşdirilmiş prosesin effektivliyi: Yüksək keyfiyyətli susseptorlar qüsurların yaranma ehtimalını azaltmaqla və istifadəyə yararlı filmlərin məhsuldarlığını artırmaqla MOCVD prosesinin ümumi səmərəliliyini artırır.
• İstifadə müddəti və etibarlılıq: SiC kimi davamlı materiallardan hazırlanmış qoruyucular uzunmüddətli etibarlılığı təmin edir və texniki xidmət xərclərini azaldır.
Suseptor MOCVD prosesində ayrılmaz tərkib hissəsidir və nazik təbəqənin çökməsinin keyfiyyətinə və səmərəliliyinə birbaşa təsir göstərir. Mövcud ölçülər, MOCVD qoruyucuları və qiymətləri haqqında ətraflı məlumat üçün bizimlə əlaqə saxlamaqdan çəkinməyin. Mühəndislərimiz sizə uyğun materiallar haqqında məsləhət verməkdən və bütün suallarınıza cavab verməkdən məmnun olacaqlar.
Telefon: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com
Göndərmə vaxtı: 12 avqust 2024-cü il