Float Zone Wafer üzən Zona ərimə üsulu ilə yetişdirilir (Float Zone ərimə üsulu), həmçinin zona ərimə vaflisi kimi tanınan FZ vafli, yüksək təmizlikli silikon vaflidir, CZ tək kristal düz çəkilmiş silikon vafli prosesini əvəz edə bilər.CZ üsulu ilə istehsal edilən vaflilərlə müqayisədə zonalı vaflilər potasız, aşağı istehsal yükü və ərimə nöqtəsi məhdudiyyətinin olmaması kimi bir çox üstünlüklərə malikdir, bu da onları günəş modulları, RF cihazları və dəqiq güc cihazları kimi tətbiqlər üçün ideal edir. FZ vaflilərində oksigen və karbon çirklərinin konsentrasiyası aşağıdır və onun mexaniki möhkəmliyini artırmaq üçün azot xüsusi olaraq əlavə edilir.
Maddə | Arqument | Sorğu nümunəsi |
Miqdarı: |
| 100 ədəd |
Böyümə üsulu: | Üzmə zonası | FZ |
Çap: | 50/75/100/150/200/300mm | 100 mm |
Növ/Dopant: | P-tipi / N-tipi / daxili | N-tipi |
Orientasiya: | <1-0-0>/<1-1-0>/<1-1-1>或其它 | <100> |
Müqavimət: | 100~30,000 ohm-sm | 3000 ohm-sm |
Qalınlıq: | 275 um ~ 775 um | 500um |
Bitir: | SSP/DSP | DSP |
Mənzillər: | Notch/İki SEMI Standard Flats | çentik |
BOW/ÇÖZÜM: | <10 µm | <40um |
TTV: | <5 µm | <20um |
Dərəcə: | Baş / Test / Dummy | Baş |