Silikon Karbid Kaplamaya Giriş
Kimyəvi buxarlanma (CVD) silikon karbid (SIC) örtükləri, yüksək korroziya və istilik müqavimət tələb edən mühitlər üçün ideal olan yüksək davamlı və aşınmaya davamlı bir təbəqədir.Silikon karbid örtükCVD prosesi vasitəsilə müxtəlif substratlarda nazik təbəqələrdə tətbiq olunur və üstün performans xüsusiyyətləri təklif edir.
Əsas Xüsusiyyətlər
● -Müstəsna Saflıq: Ultra saf tərkibi ilə öyünür99.99995%, bizimSiC örtüyühəssas yarımkeçirici əməliyyatlarda çirklənmə risklərini minimuma endirir.
● -Üstün Müqavimət: Həm aşınmaya, həm də korroziyaya qarşı əla müqavimət göstərərək onu çətin kimyəvi və plazma parametrləri üçün mükəmməl edir.
● -Yüksək istilik keçiriciliyi: Mükəmməl istilik xüsusiyyətlərinə görə həddindən artıq temperaturda etibarlı performans təmin edir.
● -Ölçü Sabitliyi: Aşağı istilik genişlənmə əmsalı sayəsində geniş temperatur diapazonunda struktur bütövlüyünü qoruyur.
● -Gücləndirilmiş Sərtlik: Sərtlik dərəcəsi ilə40 GPa, SiC örtüyümüz əhəmiyyətli zərbələrə və aşınmaya davamlıdır.
● - Hamar Səthi Bitirmə: Hissəciklərin əmələ gəlməsini azaldaraq və əməliyyat səmərəliliyini artıraraq, güzgüyə bənzər bitirmə təmin edir.
Tətbiqlər
Semicera SiC örtükləriyarımkeçirici istehsalının müxtəlif mərhələlərində istifadə olunur, o cümlədən:
● -LED çip istehsalı
● -Polisilikon istehsalı
● -Yarımkeçirici kristal artımı
● -Silikon və SiC Epitaksisi
● -Termal Oksidləşmə və Diffuziya (TO&D)
Yüksək güclü izostatik qrafitdən, karbon lifli dəmir karbon və 4n-in yenidən qurulmuş silikon karbidindən hazırlanmış sic örtüklü komponentləri tədarük edirikSTC-TCS çeviriciləri, CZ vahid reflektorları, SiC vafli qayıq, SiCwafer avar, SiC vafli borusu və PECVD, silikon epitaksiya, MOCVD proseslərində istifadə olunan vafli daşıyıcıları.
Faydaları
● -Düzəldici ömrü: Avadanlıqların dayanma müddətini və texniki xidmət xərclərini əhəmiyyətli dərəcədə azaldır, ümumi istehsal səmərəliliyini artırır.
● -Təkmilləşdirilmiş Keyfiyyət: Yarımkeçiricilərin emalı üçün lazım olan yüksək təmizlik səthlərinə nail olur və beləliklə məhsulun keyfiyyətini artırır.
● - Artırılmış Səmərəlilik: Termal və CVD proseslərini optimallaşdırır, nəticədə daha qısa dövrə vaxtları və yüksək məhsuldarlıq əldə edilir.
Texniki Spesifikasiyalar
● - Struktur: FCC β faza polikristalin, əsasən (111) yönümlü
● -Sıxlıq: 3,21 q/sm³
● - Sərtlik: 2500 Vickes sərtliyi (500g yük)
● -Qırılmaya davamlılıq: 3.0 MPam·m1/2
● -Termal Genişlənmə əmsalı (100–600 °C): 4,3 x 10-6k-1
● -Elastik Modul(1300 ℃):435 GPa
● -Tipik Film Qalınlığı:100 µm
● - Səthin pürüzlülüyü:2-10 µm
Saflıq Məlumatı (Glow Boşaltma Kütləvi Spektroskopiyası ilə ölçülür)
| Element | ppm | Element | ppm |
| Li | < 0,001 | Cu | < 0,01 |
| Be | < 0,001 | Zn | < 0,05 |
| Al | < 0,04 | Ga | < 0,01 |
| P | < 0,01 | Ge | < 0,05 |
| S | < 0,04 | As | < 0,005 |
| K | < 0,05 | In | < 0,01 |
| Ca | < 0,05 | Sn | < 0,01 |
| Ti | < 0,005 | Sb | < 0,01 |
| V | < 0,001 | W | < 0,05 |
| Cr | < 0,05 | Te | < 0,01 |
| Mn | < 0,005 | Pb | < 0,01 |
| Fe | < 0,05 | Bi | < 0,05 |
| Ni | < 0,01 |
|
