Semicera 3C-SiC Gofret Substratları yeni nəsil enerji elektronikası və yüksək tezlikli cihazlar üçün möhkəm platforma təmin etmək üçün hazırlanmışdır. Üstün istilik xüsusiyyətləri və elektrik xüsusiyyətləri ilə bu substratlar müasir texnologiyanın tələblərinə cavab vermək üçün hazırlanmışdır.
Semicera Gofret Substratlarının 3C-SiC (Kubik Silikon Karbid) strukturu digər yarımkeçirici materiallarla müqayisədə daha yüksək istilik keçiriciliyi və daha aşağı istilik genişlənmə əmsalı da daxil olmaqla unikal üstünlüklər təklif edir. Bu, onları həddindən artıq temperatur və yüksək güc şəraitində işləyən cihazlar üçün əla seçim edir.
Yüksək elektrik qırılma gərginliyi və üstün kimyəvi dayanıqlılığı ilə Semicera 3C-SiC Gofret Substratları uzunmüddətli performans və etibarlılığı təmin edir. Bu xüsusiyyətlər yüksək tezlikli radar, bərk cisim işıqlandırması və enerji çeviriciləri kimi tətbiqlər üçün vacibdir, burada səmərəlilik və dayanıqlıq hər şeydən üstündür.
Semicera-nın keyfiyyətə sadiqliyi onların 3C-SiC Gofret Substratlarının səliqəli istehsal prosesində öz əksini tapır və hər partiyada vahidliyi və ardıcıllığı təmin edir. Bu dəqiqlik onların üzərində qurulmuş elektron cihazların ümumi performansına və uzunömürlülüyünə kömək edir.
Semicera 3C-SiC Gofret Substratlarını seçməklə istehsalçılar daha kiçik, daha sürətli və daha səmərəli elektron komponentlərin hazırlanmasına imkan verən ən müasir materiala çıxış əldə edirlər. Semicera yarımkeçirici sənayesinin inkişaf edən tələblərinə cavab verən etibarlı həllər təqdim etməklə texnoloji innovasiyaları dəstəkləməyə davam edir.
| Əşyalar | İstehsal | Araşdırma | dummy |
| Kristal parametrləri | |||
| Politip | 4H | ||
| Səth oriyentasiya xətası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrik Parametrləri | |||
| Dopant | n-tipli azot | ||
| Müqavimət | 0,015-0,025ohm·sm | ||
| Mexaniki Parametrlər | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalınlıq | 350±25 μm | ||
| İlkin düz oriyentasiya | [1-100]±5° | ||
| İlkin düz uzunluq | 47,5±1,5 mm | ||
| İkinci dərəcəli mənzil | Heç biri | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çarpma | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ön (Si-üz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Mikroborunun sıxlığı | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 e/sm2 |
| Metal çirkləri | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Ön keyfiyyət | |||
| Ön | Si | ||
| Səthi bitirmə | Si-üzlü CMP | ||
| hissəciklər | ≤60ea/vafli (ölçüsü≥0.3μm) | NA | |
| cızıqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunluq ≤Diametr | Kümülatif uzunluq≤2*Diametr | NA |
| Portağal qabığı / çuxurlar / ləkələr / cızıqlar / çatlar / çirklənmə | Heç biri | NA | |
| Kənar çiplər / girintilər / qırıqlar / altıbucaqlı lövhələr | Heç biri | ||
| Politip sahələr | Heç biri | Kumulyativ sahə≤20% | Kumulyativ sahə≤30% |
| Ön lazer markalanması | Heç biri | ||
| Arxa Keyfiyyət | |||
| Arxa bitiş | C-üzlü CMP | ||
| cızıqlar | ≤5ea/mm,Kumulyativ uzunluq≤2*Diametr | NA | |
| Arxa qüsurlar (kənar çipləri / girintilər) | Heç biri | ||
| Arxa pürüzlülük | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Arxa lazer markalanması | 1 mm (yuxarı kənardan) | ||
| Kənar | |||
| Kənar | pax | ||
| Qablaşdırma | |||
| Qablaşdırma | Vakuum qablaşdırma ilə epi-hazır Çox vafli kaset qablaşdırması | ||
| *Qeydlər: "NA" sorğunun olmaması deməkdir. Qeyd olunmayan maddələr SEMI-STD-yə aid ola bilər. | |||
