Semicera'sGofret kasetizərif yarımkeçirici vafliləri təhlükəsiz saxlamaq və daşımaq üçün nəzərdə tutulmuş yarımkeçirici istehsal prosesində mühüm komponentdir. TheGofret kasetihər bir vafli daşınma, saxlama və daşınma zamanı çirkləndiricilərdən və fiziki zədələrdən azad olmasını təmin etməklə müstəsna mühafizə təmin edir.
Yüksək təmizliyə malik, kimyəvi davamlı materiallardan hazırlanmış SemiceraGofret kasetiistehsalın hər mərhələsində vaflilərin bütövlüyünü qorumaq üçün vacib olan ən yüksək səviyyəli təmizliyə və davamlılığa zəmanət verir. Bu kasetlərin dəqiq mühəndisliyi çirklənmə və mexaniki zədələnmə riskini minimuma endirərək avtomatlaşdırılmış idarəetmə sistemləri ilə qüsursuz inteqrasiya etməyə imkan verir.
-nin dizaynıGofret kasetihəmçinin xüsusi ekoloji şərait tələb edən proseslər üçün çox vacib olan optimal hava axını və temperatur nəzarətini dəstəkləyir. İstər təmiz otaqlarda, istərsə də istilik emal zamanı istifadə olunsa da, SemiceraGofret kasetiyarımkeçiricilər sənayesinin ciddi tələblərinə cavab vermək üçün hazırlanmışdır, istehsal səmərəliliyini və məhsul keyfiyyətini artırmaq üçün etibarlı və ardıcıl performans təmin edir.
| Əşyalar | İstehsal | Araşdırma | dummy |
| Kristal parametrləri | |||
| Politip | 4H | ||
| Səth oriyentasiya xətası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrik Parametrləri | |||
| Dopant | n-tipli azot | ||
| Müqavimət | 0,015-0,025ohm·sm | ||
| Mexaniki Parametrlər | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalınlıq | 350±25 μm | ||
| İlkin düz oriyentasiya | [1-100]±5° | ||
| İlkin düz uzunluq | 47,5±1,5 mm | ||
| İkinci dərəcəli mənzil | Heç biri | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çarpma | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ön (Si-üz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Mikroborunun sıxlığı | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 e/sm2 |
| Metal çirkləri | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Ön keyfiyyət | |||
| Ön | Si | ||
| Səthi bitirmə | Si-üzlü CMP | ||
| hissəciklər | ≤60ea/vafli (ölçüsü≥0.3μm) | NA | |
| cızıqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunluq ≤Diametr | Kümülatif uzunluq≤2*Diametr | NA |
| Portağal qabığı / çuxurlar / ləkələr / cızıqlar / çatlar / çirklənmə | Heç biri | NA | |
| Kənar çiplər / girintilər / qırıqlar / altıbucaqlı lövhələr | Heç biri | ||
| Politip sahələr | Heç biri | Kumulyativ sahə≤20% | Kumulyativ sahə≤30% |
| Ön lazer markalanması | Heç biri | ||
| Arxa Keyfiyyət | |||
| Arxa bitiş | C-üzlü CMP | ||
| cızıqlar | ≤5ea/mm,Kumulyativ uzunluq≤2*Diametr | NA | |
| Arxa qüsurlar (kənar çipləri / girintilər) | Heç biri | ||
| Arxa pürüzlülük | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Arxa lazer markalanması | 1 mm (yuxarı kənardan) | ||
| Kənar | |||
| Kənar | pax | ||
| Qablaşdırma | |||
| Qablaşdırma | Vakuum qablaşdırma ilə epi-hazır Çox vafli kaset qablaşdırması | ||
| *Qeydlər: "NA" sorğunun olmaması deməkdir. Qeyd olunmayan maddələr SEMI-STD-yə aid ola bilər. | |||
