Semicera təqdim edirGofret kaset daşıyıcısı, yarımkeçirici vaflilərin təhlükəsiz və səmərəli idarə edilməsi üçün kritik həlldir. Bu daşıyıcı yarımkeçiricilər sənayesinin ciddi tələblərinə cavab vermək üçün hazırlanmışdır, istehsal prosesi boyunca vaflilərinizin qorunmasını və bütövlüyünü təmin edir.
Əsas Xüsusiyyətlər:
•Möhkəm tikinti:TheGofret kaset daşıyıcısıçirklənmədən və fiziki zədələrdən etibarlı qorunma təmin edən, yarımkeçirici mühitlərin sərtliyinə tab gətirən yüksək keyfiyyətli, davamlı materiallardan tikilmişdir.
•Dəqiq Hizalama:Vaflinin dəqiq düzülməsi üçün nəzərdə tutulmuş bu daşıyıcı vaflilərin etibarlı şəkildə yerində saxlanmasını təmin edərək, daşınma zamanı yanlış hizalanma və ya zədələnmə riskini minimuma endirir.
•Asan idarə:İstifadə rahatlığı üçün erqonomik olaraq dizayn edilmiş daşıyıcı yükləmə və boşaltma prosesini sadələşdirir, təmiz otaq mühitlərində iş axınının səmərəliliyini artırır.
•Uyğunluq:Geniş çeşidli vafli ölçüləri və növləri ilə uyğun gəlir və onu müxtəlif yarımkeçirici istehsal ehtiyacları üçün çox yönlü edir.
Semicera's ilə misilsiz qorunma və rahatlığı yaşayınGofret kaset daşıyıcısı. Daşıyıcımız yarımkeçirici istehsalının ən yüksək standartlarına cavab vermək üçün nəzərdə tutulmuşdur ki, bu da vaflilərinizin başdan axıra qədər təmiz vəziyyətdə qalmasını təmin edir. Ən kritik prosesləriniz üçün lazım olan keyfiyyət və etibarlılığı təmin etmək üçün Semicera-ya etibar edin.
| Əşyalar | İstehsal | Araşdırma | dummy |
| Kristal parametrləri | |||
| Politip | 4H | ||
| Səth oriyentasiya xətası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrik Parametrləri | |||
| Dopant | n-tipli azot | ||
| Müqavimət | 0,015-0,025ohm·sm | ||
| Mexaniki Parametrlər | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalınlıq | 350±25 μm | ||
| İlkin düz oriyentasiya | [1-100]±5° | ||
| İlkin düz uzunluq | 47,5±1,5 mm | ||
| İkinci dərəcəli mənzil | Heç biri | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çarpma | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ön (Si-üz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Mikroborunun sıxlığı | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 e/sm2 |
| Metal çirkləri | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Ön keyfiyyət | |||
| Ön | Si | ||
| Səthi bitirmə | Si-üzlü CMP | ||
| hissəciklər | ≤60ea/vafli (ölçüsü≥0.3μm) | NA | |
| cızıqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunluq ≤Diametr | Kümülatif uzunluq≤2*Diametr | NA |
| Portağal qabığı / çuxurlar / ləkələr / cızıqlar / çatlar / çirklənmə | Heç biri | NA | |
| Kənar çiplər / girintilər / qırıqlar / altıbucaqlı lövhələr | Heç biri | ||
| Politip sahələr | Heç biri | Kumulyativ sahə≤20% | Kumulyativ sahə≤30% |
| Ön lazer markalanması | Heç biri | ||
| Arxa Keyfiyyət | |||
| Arxa bitiş | C-üzlü CMP | ||
| cızıqlar | ≤5ea/mm,Kumulyativ uzunluq≤2*Diametr | NA | |
| Arxa qüsurlar (kənar çipləri / girintilər) | Heç biri | ||
| Arxa pürüzlülük | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Arxa lazer markalanması | 1 mm (yuxarı kənardan) | ||
| Kənar | |||
| Kənar | pax | ||
| Qablaşdırma | |||
| Qablaşdırma | Vakuum qablaşdırma ilə epi-hazır Çox vafli kaset qablaşdırması | ||
| *Qeydlər: "NA" sorğunun olmaması deməkdir. Qeyd olunmayan maddələr SEMI-STD-yə aid ola bilər. | |||
