Tantal karbid (TaC) ilə örtülmüş suseptor

Qısa təsvir:

Qrafit əla yüksək temperaturlu materialdır, lakin yüksək temperaturda asanlıqla oksidləşir. İnert qazı olan vakuum sobalarında belə, hələ də yavaş oksidləşməyə məruz qala bilər. CVD tantal karbid (TaC) örtüyünün istifadəsi qrafit substratını effektiv şəkildə qoruya bilər, qrafitlə eyni yüksək temperatur müqavimətini təmin edir. TaC həm də təsirsiz bir materialdır, yəni yüksək temperaturda arqon və ya hidrogen kimi qazlarla reaksiya verməyəcəkdir.SorğuTantal karbid (TaC) ilə örtülmüş suseptor indi!

 


Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Semicera müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi tantal karbid (TaC) örtükləri təqdim edir.Semicera aparıcı örtük prosesi tantal karbid (TaC) örtüklərinə yüksək təmizlik, yüksək temperatur sabitliyi və yüksək kimyəvi tolerantlıq əldə etməyə imkan verir, SIC/GAN kristallarının və EPI təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır (Qrafitlə örtülmüş TaC qəbuledicisi) və əsas reaktor komponentlərinin ömrünü uzatmaq. Tantal karbid TaC örtüyünün istifadəsi kənar problemi həll etmək və kristal böyüməsinin keyfiyyətini yaxşılaşdırmaqdır və Semicera beynəlxalq qabaqcıl səviyyəyə çatan tantal karbid örtük texnologiyasını (CVD) həll etdi.

 

İllik inkişafdan sonra Semicera texnologiyasını fəth etdiCVD TaCAr-Ge şöbəsinin birgə səyləri ilə. SiC vaflilərinin böyüməsi prosesində qüsurlar asanlıqla baş verir, lakin istifadə edildikdən sonraTaC, fərq əhəmiyyətlidir. Aşağıda TaC olan və olmayan vaflilərin, eləcə də tək kristal artımı üçün Simicera hissələrinin müqayisəsi verilmişdir.

微信图片_20240227150045

TaC ilə və olmadan

微信图片_20240227150053

TaC istifadə etdikdən sonra (sağda)

Üstəlik, Semicera'sTaC ilə örtülmüş məhsullarilə müqayisədə daha uzun xidmət müddəti və daha yüksək temperatur müqaviməti nümayiş etdirirSiC örtükləri.Laboratoriya ölçmələri göstərdi ki, bizimTaC örtükləridavamlı olaraq 2300 dərəcə Selsiyə qədər olan temperaturda uzun müddət işləyə bilər. Aşağıda nümunələrimizdən bəzi nümunələr verilmişdir:

 
0(1)
Semicera İş yeri
Semicera iş yeri 2
Avadanlıq maşını
Semicera Anbar Evi
CNN emalı, kimyəvi təmizləmə, CVD örtüyü
Bizim xidmət

  • Əvvəlki:
  • Sonrakı: