Tantal karbidlə örtülmüş həssas dəstək lövhəsinazik təbəqəsi ilə örtülmüş həssas və ya dayaq quruluşudurtantal karbid. Bu örtük həzmedici səthdə fiziki buxar çökmə (PVD) və ya kimyəvi buxar çökmə (CVD) kimi üsullarla formalaşdırıla bilər ki, bu da həssaslığa üstün xüsusiyyətlər verir.tantal karbid.
Semicera müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi tantal karbid (TaC) örtükləri təqdim edir.Semicera aparıcı örtük prosesi tantal karbid (TaC) örtüklərinə yüksək təmizlik, yüksək temperatur sabitliyi və yüksək kimyəvi tolerantlıq əldə etməyə imkan verir, SIC/GAN kristallarının və EPI təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır (Qrafitlə örtülmüş TaC qəbuledicisi) və əsas reaktor komponentlərinin ömrünü uzatmaq. Tantal karbid TaC örtüyünün istifadəsi kənar problemi həll etmək və kristal böyüməsinin keyfiyyətini yaxşılaşdırmaqdır və Semicera beynəlxalq qabaqcıl səviyyəyə çatan tantal karbid örtük texnologiyasını (CVD) həll etdi.
İllik inkişafdan sonra Semicera texnologiyasını fəth etdiCVD TaCAr-Ge şöbəsinin birgə səyləri ilə. SiC vaflilərinin böyüməsi prosesində qüsurlar asanlıqla baş verir, lakin istifadə edildikdən sonraTaC, fərq əhəmiyyətlidir. Aşağıda TaC olan və olmayan vaflilərin, eləcə də tək kristal artımı üçün Simicera hissələrinin müqayisəsi verilmişdir.
Tantal karbid örtüklü əsas dəstək plitələrinin əsas xüsusiyyətlərinə aşağıdakılar daxildir:
1. Yüksək temperatur sabitliyi: Tantal karbid əla yüksək temperatur sabitliyinə malikdir, bu da örtülmüş əsas dayaq lövhəsini yüksək temperaturlu iş mühitlərində dəstək ehtiyacları üçün uyğun edir.
2. Korroziyaya qarşı müqavimət: Tantal karbid örtüyü yaxşı korroziyaya davamlıdır, kimyəvi korroziyaya və oksidləşməyə müqavimət göstərə bilər və bazanın xidmət müddətini uzadır.
3. Yüksək sərtlik və aşınma müqaviməti: Tantal karbid örtüyünün yüksək sərtliyi əsas dəstək lövhəsinə yaxşı aşınma müqaviməti verir, bu da yüksək aşınma müqaviməti tələb edən hallar üçün uyğundur.
4. Kimyəvi sabitlik: Tantal karbid müxtəlif kimyəvi maddələrə qarşı yüksək dayanıqlığa malikdir və örtülmüş əsas dayaq lövhəsini bəzi korroziyalı mühitlərdə yaxşı yerinə yetirir.
TaC ilə və olmadan
TaC istifadə etdikdən sonra (sağda)
Üstəlik, Semicera'sTaC ilə örtülmüş məhsullarilə müqayisədə daha uzun xidmət müddəti və daha yüksək temperatur müqaviməti nümayiş etdirirSiC örtükləri.Laboratoriya ölçmələri göstərdi ki, bizimTaC örtükləridavamlı olaraq 2300 dərəcə Selsiyə qədər olan temperaturda uzun müddət işləyə bilər. Aşağıda nümunələrimizdən bəzi nümunələr verilmişdir:
