Tantal karbidlə örtülmüş qrafit təbəqənazik təbəqəsi olan qrafit materialdırtantal karbidsubstratın səthində. İncə tantal karbid təbəqəsi adətən qrafit substratın səthində fiziki buxar çökməsi (PVD) və ya kimyəvi buxar çökməsi (CVD) kimi üsullarla əmələ gəlir. Bu örtük yüksək sərtlik, əla aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq və yüksək temperaturda sabitlik kimi əla xüsusiyyətlərə malikdir.
Semicera müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi tantal karbid (TaC) örtükləri təqdim edir.Semicera aparıcı örtük prosesi tantal karbid (TaC) örtüklərinə yüksək təmizlik, yüksək temperatur sabitliyi və yüksək kimyəvi tolerantlıq əldə etməyə imkan verir, SIC/GAN kristallarının və EPI təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır (Qrafitlə örtülmüş TaC qəbuledicisi) və əsas reaktor komponentlərinin ömrünü uzatmaq. Tantal karbid TaC örtüyünün istifadəsi kənar problemi həll etmək və kristal böyüməsinin keyfiyyətini yaxşılaşdırmaqdır və Semicera beynəlxalq qabaqcıl səviyyəyə çatan tantal karbid örtük texnologiyasını (CVD) həll etdi.
İllik inkişafdan sonra Semicera texnologiyasını fəth etdiCVD TaCAr-Ge şöbəsinin birgə səyləri ilə. SiC vaflilərinin böyüməsi prosesində qüsurlar asanlıqla baş verir, lakin istifadə edildikdən sonraTaC, fərq əhəmiyyətlidir. Aşağıda TaC olan və olmayan vaflilərin, eləcə də tək kristal artımı üçün Simicera hissələrinin müqayisəsi verilmişdir.
Tantal karbidlə örtülmüş qrafit təbəqənin əsas üstünlüklərinə aşağıdakılar daxildir:
1. Yüksək temperatur müqaviməti: Tantal karbid yüksək ərimə nöqtəsinə və əla yüksək temperatur sabitliyinə malikdir, bu da örtülmüş qrafit təbəqəni yüksək temperaturlu mühitlərdə istifadə üçün uyğun edir.
2. Korroziyaya qarşı müqavimət: Tantal karbid örtüyü bir çox kimyəvi aşındırıcı maddələrin aşınmasına müqavimət göstərə bilər və materialın xidmət müddətini uzadır.
3. Yüksək sərtlik: Tantal karbid nazik təbəqəsinin yüksək sərtliyi yaxşı aşınma müqavimətini təmin edir və yüksək aşınma müqaviməti tələb edən tətbiqlər üçün uyğundur.
4. Kimyəvi sabitlik: Tantal karbid örtüyü kimyəvi korroziyaya qarşı əla dayanıqlığa malikdir və bəzi aşındırıcı mühitlərdə istifadə üçün uyğundur.
TaC ilə və olmadan
TaC istifadə etdikdən sonra (sağda)
Üstəlik, Semicera'sTaC ilə örtülmüş məhsullarilə müqayisədə daha uzun xidmət müddəti və daha yüksək temperatur müqaviməti nümayiş etdirirSiC örtükləri.Laboratoriya ölçmələri göstərdi ki, bizimTaC örtükləridavamlı olaraq 2300 dərəcə Selsiyə qədər olan temperaturda uzun müddət işləyə bilər. Aşağıda nümunələrimizdən bəzi nümunələr verilmişdir:
