Semicera müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi tantal karbid (TaC) örtükləri təqdim edir.Semicera aparıcı örtük prosesi tantal karbid (TaC) örtüklərinə yüksək təmizlik, yüksək temperatur sabitliyi və yüksək kimyəvi tolerantlıq əldə etməyə imkan verir, SIC/GAN kristallarının və EPI təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır (Qrafitlə örtülmüş TaC qəbuledicisi) və əsas reaktor komponentlərinin ömrünü uzatmaq. Tantal karbid TaC örtüyünün istifadəsi kənar problemi həll etmək və kristal böyüməsinin keyfiyyətini yaxşılaşdırmaqdır və Semicera beynəlxalq qabaqcıl səviyyəyə çatan tantal karbid örtük texnologiyasını (CVD) həll etdi.
Tantal karbid örtüklü vafli daşıyıcıları yarımkeçirici istehsal proseslərində vafli emalı və emal proseslərində geniş istifadə olunur. İstehsal prosesi zamanı vaflilərin təhlükəsizliyini, dəqiqliyini və ardıcıllığını təmin etmək üçün sabit dəstək və qoruma təmin edirlər. Tantal karbid örtükləri daşıyıcının xidmət müddətini uzada bilər, xərcləri azalda bilər və yarımkeçirici məhsulların keyfiyyətini və etibarlılığını artıra bilər.
Tantal karbid örtüklü vafli daşıyıcının təsviri aşağıdakı kimidir:
1. Material seçimi: Tantal karbid əla performansa, yüksək sərtliyə, yüksək ərimə nöqtəsinə, korroziyaya davamlılığa və əla mexaniki xüsusiyyətlərə malik bir materialdır, buna görə də yarımkeçirici istehsal prosesində geniş istifadə olunur.
2. Səth örtüyü: Tantal karbid örtüyü vahid və sıx tantal karbid örtüyü yaratmaq üçün xüsusi örtük prosesi vasitəsilə vafli daşıyıcının səthinə tətbiq olunur. Bu örtük yaxşı istilik keçiriciliyinə malik olmaqla əlavə qorunma və aşınma müqavimətini təmin edə bilər.
3. Düzlük və dəqiqlik: Tantal karbidlə örtülmüş gofret daşıyıcısı, istehsal prosesi zamanı vaflilərin sabitliyini və dəqiqliyini təmin edən yüksək dərəcədə düzlük və dəqiqliyə malikdir. Daşıyıcı səthin hamarlığı və bitməsi vaflinin keyfiyyətini və performansını təmin etmək üçün vacibdir.
4. Temperatur sabitliyi: Tantal karbidlə örtülmüş vafli daşıyıcıları yüksək temperaturlu mühitlərdə deformasiya və ya boşalma olmadan sabitliyi saxlaya bilir, yüksək temperatur proseslərində vaflilərin sabitliyini və tutarlılığını təmin edir.
5. Korroziyaya davamlılıq: Tantal karbid örtükləri əla korroziya müqavimətinə malikdir, kimyəvi maddələrin və həlledicilərin aşınmasına qarşı dura bilir və daşıyıcını maye və qaz korroziyasından qoruyur.
TaC ilə və olmadan
TaC istifadə etdikdən sonra (sağda)
Üstəlik, Semicera'sTaC ilə örtülmüş məhsullarilə müqayisədə daha uzun xidmət müddəti və daha yüksək temperatur müqaviməti nümayiş etdirirSiC örtükləri.Laboratoriya ölçmələri göstərdi ki, bizimTaC örtükləridavamlı olaraq 2300 dərəcə Selsiyə qədər olan temperaturda uzun müddət işləyə bilər. Aşağıda nümunələrimizdən bəzi nümunələr verilmişdir:
