TaC Coated Plate SiC epitaksial proseslərdə istifadə üçün nəzərdə tutulmuş, yüksək keyfiyyətli qrafit materialdan dəqiqliklə hazırlanmış xüsusi diskdir. Onun səthi müstəsna saflığı və gücü ilə tanınan bir birləşmə olan tantal karbid (TaC) ilə diqqətlə örtülmüşdür. TaC örtüyü plitənin davamlılığını və yüksək temperaturlara qarşı müqavimətini artırır, onu SiC epitaksial proseslərin tələbkar şərtləri üçün ideal edir.
Bu yenilikçi TaC örtüklü lövhə SiC epitaksial proseslərdə istifadə üçün nəzərdə tutulmuş, yüksək keyfiyyətli qrafit materialından dəqiqliklə hazırlanmış xüsusi diskdir. TaC ilə örtülmüş lövhənin səthi, müstəsna saflığı və gücü ilə tanınan bir birləşmə olan tantal karbid (TaC) ilə diqqətlə örtülmüşdür. SiC epitaksial artımının müxtəlif mərhələlərində vafli daşınması üçün etibarlı platforma kimi xidmət edir. Yüksək təmizlikli qrafit bazası sabit və təsirsiz bir səth təmin edir, TaC örtüyü isə kimyəvi reaksiyalara və aşınmaya qarşı əlavə qorunma qatını əlavə edir.
SemikdövrTaC örtüklü lövhə müştərilərin xüsusi tələblərinə uyğun olaraq optimal performansı və SiC epitaksial sistemləri ilə uyğunluğu təmin edərək fərdiləşdirilir. Ölçüsü, forması və ya digər xüsusiyyətlərindən asılı olmayaraq, bu lövhələr hər bir tətbiqin unikal ehtiyaclarını ödəmək üçün hazırlanmışdır.
TaC ilə və olmadan
TaC istifadə etdikdən sonra (sağda)
Üstəlik, Semicera'sTaC ilə örtülmüş məhsullarilə müqayisədə daha uzun xidmət müddəti və daha yüksək temperatur müqaviməti nümayiş etdirirSiC örtükləri.Laboratoriya ölçmələri göstərdi ki, bizimTaC örtükləridavamlı olaraq 2300 dərəcə Selsiyə qədər olan temperaturda uzun müddət işləyə bilər. Aşağıda nümunələrimizdən bəzi nümunələr verilmişdir:
