Semicera müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi tantal karbid (TaC) örtükləri təqdim edir.Semicera aparıcı örtük prosesi tantal karbid (TaC) örtüklərinə yüksək təmizlik, yüksək temperatur sabitliyi və yüksək kimyəvi tolerantlıq əldə etməyə imkan verir, SIC/GAN kristallarının və EPI təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır (Qrafitlə örtülmüş TaC qəbuledicisi) və əsas reaktor komponentlərinin ömrünü uzatmaq. Tantal karbid TaC örtüyünün istifadəsi kənar problemi həll etmək və kristal böyüməsinin keyfiyyətini yaxşılaşdırmaqdır və Semicera beynəlxalq qabaqcıl səviyyəyə çatan tantal karbid örtük texnologiyasını (CVD) həll etdi.
8 düymlük silisium karbid (SiC) vaflilərinin meydana çıxması ilə müxtəlif yarımkeçirici proseslər üçün tələblər, xüsusən temperaturun 2000 dərəcə Selsidən çox ola biləcəyi epitaksiya prosesləri üçün getdikcə daha sərt oldu. Silikon karbidlə örtülmüş qrafit kimi ənənəvi həssas materiallar bu yüksək temperaturda epitaksiya prosesini pozaraq sublimasiyaya meyllidirlər. Bununla belə, CVD tantal karbidi (TaC) bu problemi effektiv şəkildə həll edir, 2300 dərəcə Selsiyə qədər olan temperaturlara davam edir və daha uzun xidmət müddəti təklif edir. Semicera ilə əlaqə saxlayın's Tantal karbid TaC CVD örtüklü vafli zəbtqabaqcıl həllərimiz haqqında daha çox araşdırmaq üçün.
İllik inkişafdan sonra Semicera texnologiyasını fəth etdiCVD TaCAr-Ge şöbəsinin birgə səyləri ilə. SiC vaflilərinin böyüməsi prosesində qüsurlar asanlıqla baş verir, lakin istifadə edildikdən sonraTaC, fərq əhəmiyyətlidir. Aşağıda TaC olan və olmayan vaflilərin, eləcə də tək kristal artımı üçün Simicera hissələrinin müqayisəsi verilmişdir.
TaC ilə və olmadan
TaC istifadə etdikdən sonra (sağda)
Üstəlik, Semicera'sTaC ilə örtülmüş məhsullarilə müqayisədə daha uzun xidmət müddəti və daha yüksək temperatur müqaviməti nümayiş etdirirSiC örtükləri.Laboratoriya ölçmələri göstərdi ki, bizimTaC örtükləridavamlı olaraq 2300 dərəcə Selsiyə qədər olan temperaturda uzun müddət işləyə bilər. Aşağıda nümunələrimizdən bəzi nümunələr verilmişdir:
