TaC örtüyüadətən metal üzvi kimyəvi buxar çökmə (MOCVD) texnologiyası ilə qrafit bazasında hazırlanan mühüm material örtüyüdür. Bu örtük yüksək sərtlik, əla aşınma müqaviməti, yüksək temperatur müqaviməti və kimyəvi sabitlik kimi əla xüsusiyyətlərə malikdir və müxtəlif yüksək tələbatlı mühəndislik tətbiqləri üçün uyğundur.
MOCVD texnologiyası metal üzvi prekursorları yüksək temperaturda reaktiv qazlarla reaksiyaya salmaqla substratın səthində arzu olunan mürəkkəb filmi yatıran çox istifadə edilən nazik təbəqənin böyüməsi texnologiyasıdır. HazırlayandaTaC örtüyü, müvafiq metal üzvi prekursorların və karbon mənbələrinin seçilməsi, reaksiya şəraitinə və çökmə parametrlərinə nəzarət etməklə, qrafit bazasında vahid və sıx TaC filmi çökdürilə bilər.
Semicera müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi tantal karbid (TaC) örtükləri təqdim edir.Semicera aparıcı örtük prosesi tantal karbid (TaC) örtüklərinə yüksək təmizlik, yüksək temperatur sabitliyi və yüksək kimyəvi tolerantlıq əldə etməyə imkan verir, SIC/GAN kristallarının və EPI təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır (Qrafitlə örtülmüş TaC qəbuledicisi) və əsas reaktor komponentlərinin ömrünü uzatmaq. Tantal karbid TaC örtüyünün istifadəsi kənar problemi həll etmək və kristal böyüməsinin keyfiyyətini yaxşılaşdırmaqdır və Semicera beynəlxalq qabaqcıl səviyyəyə çatan tantal karbid örtük texnologiyasını (CVD) həll etdi.
İllik inkişafdan sonra Semicera texnologiyasını fəth etdiCVD TaCAr-Ge şöbəsinin birgə səyləri ilə. SiC vaflilərinin böyüməsi prosesində qüsurlar asanlıqla baş verir, lakin istifadə edildikdən sonraTaC, fərq əhəmiyyətlidir. Aşağıda TaC olan və olmayan vaflilərin, eləcə də tək kristal artımı üçün Simicera hissələrinin müqayisəsi verilmişdir.
TaC ilə və olmadan
TaC istifadə etdikdən sonra (sağda)
Üstəlik, Semicera'sTaC ilə örtülmüş məhsullarilə müqayisədə daha uzun xidmət müddəti və daha yüksək temperatur müqaviməti nümayiş etdirirSiC örtükləri.Laboratoriya ölçmələri göstərdi ki, bizimTaC örtükləridavamlı olaraq 2300 dərəcə Selsiyə qədər olan temperaturda uzun müddət işləyə bilər. Aşağıda nümunələrimizdən bəzi nümunələr verilmişdir:
