TaC örtüklü qrafit bələdçi üzüklərnazik təbəqənin çökməsinə istinad edintantal karbidaşınma müqavimətini, yüksək temperatur müqavimətini və kimyəvi sabitliyi yaxşılaşdırmaq üçün qrafit bələdçi halqasının səthində. Bu örtük adətən qrafit bələdçi halqasının səthində fiziki buxar çökmə (PVD) və ya kimyəvi buxar çökmə (CVD) kimi üsullarla formalaşır.
Semicera müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi tantal karbid (TaC) örtükləri təqdim edir.Semicera aparıcı örtük prosesi tantal karbid (TaC) örtüklərinə yüksək təmizlik, yüksək temperatur sabitliyi və yüksək kimyəvi tolerantlıq əldə etməyə imkan verir, SIC/GAN kristallarının və EPI təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır (Qrafitlə örtülmüş TaC qəbuledicisi) və əsas reaktor komponentlərinin ömrünü uzatmaq. Tantal karbid TaC örtüyünün istifadəsi kənar problemi həll etmək və kristal böyüməsinin keyfiyyətini yaxşılaşdırmaqdır və Semicera beynəlxalq qabaqcıl səviyyəyə çatan tantal karbid örtük texnologiyasını (CVD) həll etdi.
İllik inkişafdan sonra Semicera texnologiyasını fəth etdiCVD TaCAr-Ge şöbəsinin birgə səyləri ilə. SiC vaflilərinin böyüməsi prosesində qüsurlar asanlıqla baş verir, lakin istifadə edildikdən sonraTaC, fərq əhəmiyyətlidir. Aşağıda TaC olan və olmayan vaflilərin, eləcə də tək kristal artımı üçün Simicera hissələrinin müqayisəsi verilmişdir.
TaC örtüklü qrafit bələdçi halqalarının əsas xüsusiyyətlərinə aşağıdakılar daxildir:
1. Yüksək temperatur müqaviməti: TaC örtüyü əla yüksək temperatur sabitliyinə malikdir və yüksək temperaturlu mühitlərdə sabitliyi qoruya bilir.
2. Aşınma müqaviməti: Tantal karbid nazik təbəqəsinin yüksək sərtliyi bələdçi halqaya yaxşı aşınma müqaviməti verir və xidmət müddətini uzadır.
3. Kimyəvi sabitlik: TaC örtüyü kimyəvi korroziyaya qarşı yüksək dayanıqlığa malikdir, bu da onu bəzi korroziyalı mühitlərdə tətbiqlər üçün uyğun edir.
4. Sürtünməni azaldın: TaC örtüyü qrafit bələdçi halqası və digər komponentlər arasında sürtünməni effektiv şəkildə azalda və mexaniki möhürlərin səmərəliliyini artıra bilər.
TaC ilə və olmadan
TaC istifadə etdikdən sonra (sağda)
Üstəlik, Semicera'sTaC ilə örtülmüş məhsullarilə müqayisədə daha uzun xidmət müddəti və daha yüksək temperatur müqaviməti nümayiş etdirirSiC örtükləri.Laboratoriya ölçmələri göstərdi ki, bizimTaC örtükləridavamlı olaraq 2300 dərəcə Selsiyə qədər olan temperaturda uzun müddət işləyə bilər. Aşağıda nümunələrimizdən bəzi nümunələr verilmişdir:
