TaC örtüklü epitaksial vafli daşıyıcılaradətən yüksək performanslı optoelektronik cihazların, güc qurğularının, sensorların və digər sahələrin hazırlanmasında istifadə olunur. Buepitaksial vafli daşıyıcı-nin çökdürülməsinə istinad edirTaCsonradan cihazın hazırlanması üçün xüsusi quruluşa və performansa malik vafli formalaşdırmaq üçün kristal böyümə prosesi zamanı substratda nazik film.
Hazırlamaq üçün adətən kimyəvi buxar çökmə (CVD) texnologiyasından istifadə olunurTaC örtüklü epitaksial vafli daşıyıcılar. Metal üzvi prekursorları və karbon mənbəyi qazlarını yüksək temperaturda reaksiya verərək, kristal substratın səthində TaC filmi çökə bilər. Bu film əla elektrik, optik və mexaniki xüsusiyyətlərə malik ola bilər və müxtəlif yüksək performanslı cihazların hazırlanması üçün uyğundur.
Semicera müxtəlif komponentlər və daşıyıcılar üçün xüsusi tantal karbid (TaC) örtükləri təqdim edir.Semicera aparıcı örtük prosesi tantal karbid (TaC) örtüklərinə yüksək təmizlik, yüksək temperatur sabitliyi və yüksək kimyəvi tolerantlıq əldə etməyə imkan verir, SIC/GAN kristallarının və EPI təbəqələrinin məhsul keyfiyyətini yaxşılaşdırır (Qrafitlə örtülmüş TaC qəbuledicisi) və əsas reaktor komponentlərinin ömrünü uzatmaq. Tantal karbid TaC örtüyünün istifadəsi kənar problemi həll etmək və kristal böyüməsinin keyfiyyətini yaxşılaşdırmaqdır və Semicera beynəlxalq qabaqcıl səviyyəyə çatan tantal karbid örtük texnologiyasını (CVD) həll etdi.
İllik inkişafdan sonra Semicera texnologiyasını fəth etdiCVD TaCAr-Ge şöbəsinin birgə səyləri ilə. SiC vaflilərinin böyüməsi prosesində qüsurlar asanlıqla baş verir, lakin istifadə edildikdən sonraTaC, fərq əhəmiyyətlidir. Aşağıda TaC olan və olmayan vaflilərin, eləcə də tək kristal artımı üçün Simicera hissələrinin müqayisəsi verilmişdir.
TaC ilə və olmadan
TaC istifadə etdikdən sonra (sağda)
Üstəlik, Semicera'sTaC ilə örtülmüş məhsullarilə müqayisədə daha uzun xidmət müddəti və daha yüksək temperatur müqaviməti nümayiş etdirirSiC örtükləri.Laboratoriya ölçmələri göstərdi ki, bizimTaC örtükləridavamlı olaraq 2300 dərəcə Selsiyə qədər olan temperaturda uzun müddət işləyə bilər. Aşağıda nümunələrimizdən bəzi nümunələr verilmişdir:
