Bərk SiC Fokus Üzüyü

Qısa təsvir:

Semicera-nın SiC Etch Rings müstəsna davamlılıq və dəqiqliklə yüksək performanslı yarımkeçirici aşındırma tətbiqləri üçün nəzərdə tutulmuşdur. Yüksək təmizlikli silisium karbidindən (SiC) hazırlanmış bu aşındırma halqası plazma aşındırma, quru aşındırma və vafli aşındırma proseslərində üstündür. Semicera-nın qabaqcıl istehsal prosesi bu halqanın hətta ən tələbkar mühitlərdə belə mükəmməl aşınma müqaviməti və termal sabitlik təmin etməsini təmin edir. Çində uzunmüddətli tərəfdaşınız olmağı səbirsizliklə gözləyirik.

Bizə e-poçt göndərin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Semicera-dan Solid SiC Focus Ring qabaqcıl yarımkeçirici istehsalının tələblərinə cavab vermək üçün nəzərdə tutulmuş qabaqcıl komponentdir. Yüksək təmizlikdən hazırlanıbSilikon karbid (SiC), bu fokus halqası yarımkeçirici sənayesində, xüsusən də sənayedə geniş tətbiqlər üçün idealdırCVD SiC prosesləri, plazma aşındırma vəICPRIE (İnduktiv şəkildə birləşdirilən plazma reaktiv ionlarının aşındırılması). Qeyri-adi aşınma müqaviməti, yüksək istilik dayanıqlığı və təmizliyi ilə tanınır, yüksək gərginlikli mühitlərdə uzunmüddətli performans təmin edir.

Yarımkeçiricidəgofretemal, Solid SiC Focus Rings quru aşındırma və vafli aşındırma tətbiqləri zamanı dəqiq aşındırmanın qorunmasında çox vacibdir. SiC fokus halqası plazma aşındırma maşını əməliyyatları kimi proseslər zamanı plazmanın fokuslanmasına kömək edir və onu silikon vaflilərin aşındırılması üçün əvəzolunmaz edir. Möhkəm SiC materialı eroziyaya qarşı misilsiz müqavimət təqdim edir, avadanlıqlarınızın uzunömürlülüyünü təmin edir və yarımkeçiricilərin istehsalında yüksək ötürmə qabiliyyətini saxlamaq üçün vacib olan dayanma müddətini minimuma endirir.

Semicera-dan Solid SiC Focus Ring, yarımkeçirici sənayesində tez-tez rast gəlinən həddindən artıq temperaturlara və aqressiv kimyəvi maddələrə tab gətirmək üçün hazırlanmışdır. kimi yüksək dəqiqlikli işlərdə istifadə üçün xüsusi olaraq hazırlanmışdırCVD SiC örtükləri, burada təmizlik və davamlılıq əsasdır. Termal şoka qarşı əla müqaviməti ilə bu məhsul ən ağır şəraitdə, o cümlədən, yüksək temperaturlara məruz qalma zamanı ardıcıl və sabit performans təmin edir.gofretaşındırma prosesləri.

Dəqiqlik və etibarlılığın əsas olduğu yarımkeçirici tətbiqlərdə Bərk SiC Fokus Halqası aşındırma proseslərinin ümumi səmərəliliyinin artırılmasında mühüm rol oynayır. Onun möhkəm, yüksək məhsuldar dizaynı onu ekstremal şəraitdə işləyən yüksək təmizlik komponentləri tələb edən sənayelər üçün mükəmməl seçim edir. İstifadəsi olsunCVD SiC halqasıtətbiqlərdə və ya plazma aşındırma prosesinin bir hissəsi kimi, Semicera-nın Solid SiC Focus Ring, istehsal proseslərinizin tələb etdiyi uzunömürlülük və etibarlılığı təklif edərək, avadanlıqlarınızın performansını optimallaşdırmağa kömək edir.

Əsas Xüsusiyyətlər:

• Üstün aşınma müqaviməti və yüksək istilik sabitliyi
• Uzun müddət istifadə müddəti üçün yüksək təmizlikdə bərk SiC materialı
• Plazma aşındırma, ICP RIE və quru aşındırma tətbiqləri üçün idealdır
• Xüsusilə CVD SiC proseslərində vafli aşındırma üçün mükəmməldir
• Ekstremal mühitlərdə və yüksək temperaturda etibarlı performans
• Silikon vaflilərin aşındırılmasında dəqiqliyi və səmərəliliyi təmin edir

Tətbiqlər:

• Yarımkeçiricilərin istehsalında CVD SiC prosesləri
• Plazma aşındırma və ICP RIE sistemləri
• Quru aşındırma və vafli aşındırma prosesləri
• Plazma aşındırma maşınlarında aşındırma və çökmə
• Gofret halqaları və CVD SiC üzükləri üçün dəqiq komponentlər