Qrafit əsaslı SiC örtüklü qrafit daşıyıcıları üçün SiC örtüklü proses

Qısa təsvir:

Semicera Energy Technology Co., Ltd qabaqcıl yarımkeçirici keramikaların aparıcı təchizatçısıdır. Bizim əsas məhsullarımıza daxildir: Silikon karbiddən həkk olunmuş disklər, silisium karbid qayıq qoşquları, silisium karbid vafli gəmiləri (PV və yarımkeçirici), silisium karbid soba boruları, silisium karbid konsol avarları, silisium karbid çubuqları, silisium karbid şüaları, həmçinin CVD və CVD TaC örtükləri.
Məhsullar əsasən yarımkeçirici və fotovoltaik sənayelərdə, məsələn, kristal artımı, epitaksiya, aşındırma, qablaşdırma, örtük və diffuziya sobası avadanlıqlarında istifadə olunur.

 

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Təsvir

Tətbiq edərkən çox yaxın tolerantlıqları qoruyuruqSiC örtüyü, vahid həssas profili təmin etmək üçün yüksək dəqiqlikli emaldan istifadə etməklə. Biz həmçinin induktiv qızdırılan sistemlərdə istifadə üçün ideal elektrik müqavimət xüsusiyyətlərinə malik materiallar istehsal edirik. Bütün hazır komponentlər təmizlik və ölçülü uyğunluq sertifikatı ilə gəlir.

Şirkətimiz təmin edirSiC örtüyüqrafit, keramika və digər materialların səthində CVD üsulu ilə emal xidmətləri, beləliklə, tərkibində karbon və silisium olan xüsusi qazlar yüksək temperaturda reaksiyaya girərək yüksək təmizlikdə SiC molekulları, örtülmüş materialların səthində çökən molekullar, SIC qoruyucu təbəqə əmələ gətirir. Yaranan SIC qrafit bazasına möhkəm bağlanaraq qrafit bazasına xüsusi xassələr verir, beləliklə qrafitin səthini yığcam, məsaməli, yüksək temperatura davamlı, korroziyaya və oksidləşməyə davamlı edir.

gf (1)

CVD prosesi son dərəcə yüksək saflıq və nəzəri sıxlıq təmin edirSiC örtüyügözeneklilik olmadan. Üstəlik, silisium karbid çox sərt olduğu üçün güzgüyə bənzər bir səthə qədər cilalana bilər.CVD silisium karbid (SiC) örtüyüultra yüksək təmizlik səthi və son dərəcə aşınma dayanıqlığı da daxil olmaqla bir sıra üstünlüklər təqdim etdi. Kaplanmış məhsullar yüksək vakuum və yüksək temperatur şəraitində əla performansa malik olduğundan, yarımkeçirici sənayedə və digər ultra təmiz mühitdə tətbiqlər üçün idealdır. Biz həmçinin pirolitik qrafit (PG) məhsulları təqdim edirik.

 

Əsas Xüsusiyyətlər

1. Yüksək temperaturda oksidləşmə müqaviməti:
temperatur 1600 C qədər yüksək olduqda oksidləşmə müqaviməti hələ də çox yaxşıdır.
2. Yüksək təmizlik: yüksək temperaturda xlorlama şəraitində kimyəvi buxarın çökməsi ilə hazırlanmışdır.
3. Eroziya müqaviməti: yüksək sərtlik, kompakt səth, incə hissəciklər.
4. Korroziyaya davamlılıq: turşu, qələvi, duz və üzvi reagentlər.

Əsas-05

Əsas-04

Əsas-03

CVD-SIC örtüklərinin əsas xüsusiyyətləri

SiC-CVD
Sıxlıq (g/cc) 3.21
Bükülmə gücü (Mpa) 470
Termal genişlənmə (10-6/K) 4
İstilik keçiriciliyi (Vt/mK) 300

Ərizə

CVD silisium karbid örtüyü artıq MOCVD qabı, RTP və oksid aşındırma kamerası kimi yarımkeçirici sənayelərdə tətbiq edilmişdir, çünki silisium nitridi böyük termal şok müqavimətinə malikdir və yüksək enerji plazmasına tab gətirə bilir.
-Silisium karbid yarımkeçirici və örtükdə geniş istifadə olunur.

Ərizə

Təchizat qabiliyyəti:
Ayda 10000 Ədəd/əd
Qablaşdırma və Çatdırılma:
Qablaşdırma: Standart və Güclü Qablaşdırma
Poli çanta + Qutu + Karton + Palet
Liman:
Ningbo/Shenzhen/Şanxay
Göndərmə vaxtı:

Miqdar (əd.) 1 - 1000 >1000
Təxmini. Vaxt (günlər) 30 Danışıq üçün
Semicera İş yeri
Semicera iş yeri 2
Avadanlıq maşını
CNN emalı, kimyəvi təmizləmə, CVD örtüyü
Bizim xidmət

  • Əvvəlki:
  • Sonrakı: