Semiceratəqdim edirYarımkeçirici kaset, yarımkeçirici istehsal prosesi boyunca vaflilərin təhlükəsiz və səmərəli idarə edilməsi üçün vacib alətdir. Yüksək dəqiqliklə hazırlanmış bu kaset vaflilərinizin hər mərhələdə bütövlüyünü qoruyaraq təhlükəsiz saxlanmasını və daşınmasını təmin edir.
Üstün Qoruma və DavamlılıqTheYarımkeçirici kasetSemicera-dan vaflilərinizə maksimum qorunma təklif etmək üçün hazırlanmışdır. Sağlam, çirklənməyə davamlı materiallardan hazırlanmış, vaflilərinizi potensial zədələrdən və çirklənmədən qoruyur və təmiz otaq mühitləri üçün ideal seçimdir. Kasetin dizaynı hissəciklərin əmələ gəlməsini minimuma endirir və vaflilərin daşınması və daşınması zamanı toxunulmaz və təhlükəsiz qalmasını təmin edir.
Optimal Performans üçün Təkmilləşdirilmiş DizaynSemicera'sYarımkeçirici kasetYanlış hizalanma və mexaniki zədələnmə riskini azaldan vaflinin dəqiq hizalanmasını təmin edən diqqətlə işlənmiş dizayna malikdir. Kasetin yuvaları hər bir vaflini etibarlı şəkildə tutmaq üçün mükəmməl məsafədə yerləşir və cızıqlar və ya digər qüsurlarla nəticələnə biləcək hər hansı bir hərəkətin qarşısını alır.
Çox yönlülük və uyğunluqTheYarımkeçirici kasetçox yönlüdür və müxtəlif vafli ölçülərinə uyğundur, bu da onu yarımkeçirici istehsalının müxtəlif mərhələləri üçün uyğun edir. İstər standart, istərsə də xüsusi vafli ölçüləri ilə işləyirsinizsə, bu kaset sizin ehtiyaclarınıza uyğunlaşır və istehsal proseslərinizdə çeviklik təklif edir.
Təkmilləşdirilmiş İdarəetmə və Səmərəlilikİstifadəçi nəzərə alınmaqla hazırlanmışdırSemicera Yarımkeçirici Kassetyüngül və idarə etmək asandır, tez və səmərəli yükləmə və boşaltma imkanı verir. Bu erqonomik dizayn nəinki vaxta qənaət edir, həm də insan səhvi riskini azaldır və müəssisənizdə düzgün əməliyyatları təmin edir.
Sənaye Standartlarına cavab verməkSemicera təmin edir kiYarımkeçirici kasetkeyfiyyət və etibarlılıq üçün ən yüksək sənaye standartlarına cavab verir. Hər bir kaset yarımkeçirici istehsalının tələbkar şərtləri altında ardıcıl performans göstərməsinə zəmanət vermək üçün ciddi sınaqdan keçir. Keyfiyyətə olan bu sədaqət vaflilərinizin sənayedə tələb olunan yüksək standartları qoruyaraq həmişə qorunmasını təmin edir.
| Əşyalar | İstehsal | Araşdırma | dummy |
| Kristal parametrləri | |||
| Politip | 4H | ||
| Səth oriyentasiya xətası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrik Parametrləri | |||
| Dopant | n tipli azot | ||
| Müqavimət | 0,015-0,025ohm·sm | ||
| Mexaniki Parametrlər | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalınlıq | 350±25 μm | ||
| İlkin düz oriyentasiya | [1-100]±5° | ||
| İlkin düz uzunluq | 47,5±1,5 mm | ||
| İkinci dərəcəli mənzil | Heç biri | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çarpma | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ön (Si-üz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Mikroborunun sıxlığı | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 e/sm2 |
| Metal çirkləri | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Ön keyfiyyət | |||
| Ön | Si | ||
| Səthi bitirmə | Si-üzlü CMP | ||
| hissəciklər | ≤60ea/vafli (ölçüsü≥0.3μm) | NA | |
| cızıqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunluq ≤Diametr | Kümülatif uzunluq≤2*Diametr | NA |
| Portağal qabığı / çuxurlar / ləkələr / cızıqlar / çatlar / çirklənmə | Heç biri | NA | |
| Kənar çiplər / girintilər / qırıqlar / altıbucaqlı lövhələr | Heç biri | ||
| Politip sahələr | Heç biri | Kumulyativ sahə≤20% | Kumulyativ sahə≤30% |
| Ön lazer markalanması | Heç biri | ||
| Arxa Keyfiyyət | |||
| Arxa bitiş | C-üzlü CMP | ||
| cızıqlar | ≤5ea/mm,Kumulyativ uzunluq≤2*Diametr | NA | |
| Arxa qüsurlar (kənar çipləri / girintilər) | Heç biri | ||
| Arxa pürüzlülük | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Arxa lazer markalanması | 1 mm (yuxarı kənardan) | ||
| Kənar | |||
| Kənar | pax | ||
| Qablaşdırma | |||
| Qablaşdırma | Vakuum qablaşdırma ilə epi-hazır Çox vafli kaset qablaşdırması | ||
| *Qeydlər: "NA" sorğunun olmaması deməkdir. Qeyd olunmayan maddələr SEMI-STD-yə aid ola bilər. | |||
