PFA kaseti

Qısa təsvir:

PFA kaseti– Yarımkeçirici istehsalında vaflinin təhlükəsiz və səmərəli işləməsi üçün ideal həll olan Semicera-nın PFA Kaseti ilə bənzərsiz kimyəvi müqavimət və davamlılığı təcrübədən keçirin.


Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

Semiceratəklif etməkdən məmnundurPFA kaseti, kimyəvi müqavimətin və davamlılığın əsas olduğu mühitlərdə vafli ilə işləmək üçün üstün seçimdir. Yüksək təmizliyə malik Perfluoroalkoksi (PFA) materialından hazırlanmış bu kaset, vaflilərinizin təhlükəsizliyini və bütövlüyünü təmin edərək, yarımkeçiricilərin istehsalında ən çətin şərtlərə tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur.

Bənzərsiz Kimyəvi MüqavimətThePFA kasetiaqressiv turşular, həlledicilər və digər sərt kimyəvi maddələrin daxil olduğu proseslər üçün mükəmməl seçim halına gətirərək, geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə qarşı üstün müqavimət göstərmək üçün hazırlanmışdır. Bu möhkəm kimyəvi müqavimət, kasetin ən korroziyalı mühitlərdə belə bütöv və funksional qalmasını təmin edir, bununla da onun xidmət müddətini uzadır və tez-tez dəyişdirmə ehtiyacını azaldır.

Yüksək Təmizlikli TikintiSemicera'sPFA kasetivafli emal zamanı çirklənmənin qarşısını almaq üçün vacib olan ultra təmiz PFA materialından istehsal edilmişdir. Bu yüksək təmiz konstruksiya hissəciklərin əmələ gəlməsi və kimyəvi yuyulma riskini minimuma endirərək, vaflilərinizin keyfiyyətinə xələl gətirə biləcək çirklərdən qorunmasını təmin edir.

Təkmilləşdirilmiş Davamlılıq və PerformansDavamlılıq üçün nəzərdə tutulmuşdurPFA kasetiekstremal temperatur və ciddi emal şəraitində struktur bütövlüyünü qoruyur. İstər yüksək temperaturlara məruz qalsın, istərsə də təkrar istifadəyə məruz qalsın, bu kaset öz formasını və performansını saxlayır, tələbkar istehsal mühitlərində uzunmüddətli etibarlılıq təklif edir.

Təhlükəsiz idarəetmə üçün dəqiq mühəndislikTheSemicera PFA Kasetitəhlükəsiz və sabit vafli idarə olunmasını təmin edən dəqiq mühəndislik xüsusiyyətləri. Hər bir yuva, vafliləri etibarlı şəkildə yerində saxlamaq üçün diqqətlə hazırlanmışdır, zədələ nəticələnə biləcək hər hansı bir hərəkətin və ya yerdəyişmənin qarşısını alır. Bu dəqiq mühəndislik ümumi prosesin səmərəliliyinə töhfə verən ardıcıl və dəqiq vafli yerləşdirməni dəstəkləyir.

Proseslər arasında çox yönlü tətbiqÜstün material xüsusiyyətləri sayəsindəPFA kasetiyarımkeçirici istehsalının müxtəlif mərhələlərində istifadə etmək üçün kifayət qədər çox yönlüdür. O, xüsusilə nəm aşındırma, kimyəvi buxar çökmə (CVD) və sərt kimyəvi mühitləri əhatə edən digər proseslər üçün çox uyğundur. Onun uyğunlaşma qabiliyyəti onu prosesin bütövlüyünü və vafli keyfiyyətini qorumaq üçün vacib alətə çevirir.

Keyfiyyətə və İnnovasiyaya SadiqlikSemicera-da biz ən yüksək sənaye standartlarına cavab verən məhsullar təqdim etməyə sadiqik. ThePFA kasetiistehsal proseslərinizə mükəmməl inteqrasiya edən etibarlı həll təklif edərək bu öhdəliyi nümunə göstərir. Hər bir kaset Semicera-dan gözlədiyiniz mükəmməlliyi təmin edərək ciddi performans meyarlarımıza cavab verməsini təmin etmək üçün ciddi keyfiyyət nəzarətindən keçir.

Əşyalar

İstehsal

Araşdırma

dummy

Kristal parametrləri

Politip

4H

Səth oriyentasiya xətası

<11-20 >4±0,15°

Elektrik Parametrləri

Dopant

n-tipli azot

Müqavimət

0,015-0,025ohm·sm

Mexaniki Parametrlər

Diametri

150,0±0,2 mm

Qalınlıq

350±25 μm

İlkin düz oriyentasiya

[1-100]±5°

İlkin düz uzunluq

47,5±1,5 mm

İkinci dərəcəli mənzil

Heç biri

TTV

≤5 μm

≤10 μm

≤15 μm

LTV

≤3 μm (5mm*5mm)

≤5 μm (5mm*5mm)

≤10 μm (5mm*5mm)

Yay

-15μm ~ 15μm

-35μm ~ 35μm

-45μm ~ 45μm

Çarpma

≤35 μm

≤45 μm

≤55 μm

Ön (Si-üz) pürüzlülük (AFM)

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Struktur

Mikroborunun sıxlığı

<1 ea/sm2

<10 ea/sm2

<15 e/sm2

Metal çirkləri

≤5E10atom/sm2

NA

BPD

≤1500 ea/sm2

≤3000 ea/sm2

NA

TSD

≤500 ea/sm2

≤1000 ea/sm2

NA

Ön keyfiyyət

Ön

Si

Səthi bitirmə

Si-üzlü CMP

hissəciklər

≤60ea/vafli (ölçüsü≥0.3μm)

NA

cızıqlar

≤5ea/mm. Kümülatif uzunluq ≤Diametr

Kümülatif uzunluq≤2*Diametr

NA

Portağal qabığı / çuxurlar / ləkələr / cızıqlar / çatlar / çirklənmə

Heç biri

NA

Kənar çiplər / girintilər / qırıqlar / altıbucaqlı lövhələr

Heç biri

Politip sahələr

Heç biri

Kumulyativ sahə≤20%

Kumulyativ sahə≤30%

Ön lazer markalanması

Heç biri

Arxa Keyfiyyət

Arxa bitiş

C-üzlü CMP

cızıqlar

≤5ea/mm,Kumulyativ uzunluq≤2*Diametr

NA

Arxa qüsurlar (kənar çipləri / girintilər)

Heç biri

Arxa pürüzlülük

Ra≤0.2nm (5μm*5μm)

Arxa lazer markalanması

1 mm (yuxarı kənardan)

Kənar

Kənar

pax

Qablaşdırma

Qablaşdırma

Vakuum qablaşdırma ilə epi-hazır

Çox vafli kaset qablaşdırması

*Qeydlər: "NA" sorğunun olmaması deməkdir. Qeyd olunmayan maddələr SEMI-STD-yə aid ola bilər.

texnologiya_1_2_ölçüsü
SiC vafliləri

  • Əvvəlki:
  • Sonrakı: