Semiceratəklif etməkdən məmnundurPFA kaseti, kimyəvi müqavimətin və davamlılığın əsas olduğu mühitlərdə vafli ilə işləmək üçün üstün seçimdir. Yüksək təmizliyə malik Perfluoroalkoksi (PFA) materialından hazırlanmış bu kaset, vaflilərinizin təhlükəsizliyini və bütövlüyünü təmin edərək, yarımkeçiricilərin istehsalında ən çətin şərtlərə tab gətirmək üçün nəzərdə tutulmuşdur.
Bənzərsiz Kimyəvi MüqavimətThePFA kasetiaqressiv turşular, həlledicilər və digər sərt kimyəvi maddələrin daxil olduğu proseslər üçün mükəmməl seçim halına gətirərək, geniş çeşiddə kimyəvi maddələrə qarşı üstün müqavimət göstərmək üçün hazırlanmışdır. Bu möhkəm kimyəvi müqavimət, kasetin ən korroziyalı mühitlərdə belə bütöv və funksional qalmasını təmin edir, bununla da onun xidmət müddətini uzadır və tez-tez dəyişdirmə ehtiyacını azaldır.
Yüksək Təmizlikli TikintiSemicera'sPFA kasetivafli emal zamanı çirklənmənin qarşısını almaq üçün vacib olan ultra təmiz PFA materialından istehsal edilmişdir. Bu yüksək təmiz konstruksiya hissəciklərin əmələ gəlməsi və kimyəvi yuyulma riskini minimuma endirərək, vaflilərinizin keyfiyyətinə xələl gətirə biləcək çirklərdən qorunmasını təmin edir.
Təkmilləşdirilmiş Davamlılıq və PerformansDavamlılıq üçün nəzərdə tutulmuşdurPFA kasetiekstremal temperatur və ciddi emal şəraitində struktur bütövlüyünü qoruyur. İstər yüksək temperaturlara məruz qalsın, istərsə də təkrar istifadəyə məruz qalsın, bu kaset öz formasını və performansını saxlayır, tələbkar istehsal mühitlərində uzunmüddətli etibarlılıq təklif edir.
Təhlükəsiz idarəetmə üçün dəqiq mühəndislikTheSemicera PFA Kasetitəhlükəsiz və sabit vafli idarə olunmasını təmin edən dəqiq mühəndislik xüsusiyyətləri. Hər bir yuva, vafliləri etibarlı şəkildə yerində saxlamaq üçün diqqətlə hazırlanmışdır, zədələ nəticələnə biləcək hər hansı bir hərəkətin və ya yerdəyişmənin qarşısını alır. Bu dəqiq mühəndislik ümumi prosesin səmərəliliyinə töhfə verən ardıcıl və dəqiq vafli yerləşdirməni dəstəkləyir.
Proseslər arasında çox yönlü tətbiqÜstün material xüsusiyyətləri sayəsindəPFA kasetiyarımkeçirici istehsalının müxtəlif mərhələlərində istifadə etmək üçün kifayət qədər çox yönlüdür. O, xüsusilə nəm aşındırma, kimyəvi buxar çökmə (CVD) və sərt kimyəvi mühitləri əhatə edən digər proseslər üçün çox uyğundur. Onun uyğunlaşma qabiliyyəti onu prosesin bütövlüyünü və vafli keyfiyyətini qorumaq üçün vacib alətə çevirir.
Keyfiyyətə və İnnovasiyaya SadiqlikSemicera-da biz ən yüksək sənaye standartlarına cavab verən məhsullar təqdim etməyə sadiqik. ThePFA kasetiistehsal proseslərinizə mükəmməl inteqrasiya edən etibarlı həll təklif edərək bu öhdəliyi nümunə göstərir. Hər bir kaset Semicera-dan gözlədiyiniz mükəmməlliyi təmin edərək ciddi performans meyarlarımıza cavab verməsini təmin etmək üçün ciddi keyfiyyət nəzarətindən keçir.
Əşyalar | İstehsal | Araşdırma | dummy |
Kristal parametrləri | |||
Politip | 4H | ||
Səth oriyentasiya xətası | <11-20 >4±0,15° | ||
Elektrik Parametrləri | |||
Dopant | n-tipli azot | ||
Müqavimət | 0,015-0,025ohm·sm | ||
Mexaniki Parametrlər | |||
Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
Qalınlıq | 350±25 μm | ||
İlkin düz oriyentasiya | [1-100]±5° | ||
İlkin düz uzunluq | 47,5±1,5 mm | ||
İkinci dərəcəli mənzil | Heç biri | ||
TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
Çarpma | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
Ön (Si-üz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Struktur | |||
Mikroborunun sıxlığı | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 e/sm2 |
Metal çirkləri | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
Ön keyfiyyət | |||
Ön | Si | ||
Səthi bitirmə | Si-üzlü CMP | ||
hissəciklər | ≤60ea/vafli (ölçüsü≥0.3μm) | NA | |
cızıqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunluq ≤Diametr | Kümülatif uzunluq≤2*Diametr | NA |
Portağal qabığı / çuxurlar / ləkələr / cızıqlar / çatlar / çirklənmə | Heç biri | NA | |
Kənar çiplər / girintilər / qırıqlar / altıbucaqlı lövhələr | Heç biri | ||
Politip sahələr | Heç biri | Kumulyativ sahə≤20% | Kumulyativ sahə≤30% |
Ön lazer markalanması | Heç biri | ||
Arxa Keyfiyyət | |||
Arxa bitiş | C-üzlü CMP | ||
cızıqlar | ≤5ea/mm,Kumulyativ uzunluq≤2*Diametr | NA | |
Arxa qüsurlar (kənar çipləri / girintilər) | Heç biri | ||
Arxa pürüzlülük | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
Arxa lazer markalanması | 1 mm (yuxarı kənardan) | ||
Kənar | |||
Kənar | pax | ||
Qablaşdırma | |||
Qablaşdırma | Vakuum qablaşdırma ilə epi-hazır Çox vafli kaset qablaşdırması | ||
*Qeydlər: "NA" sorğunun olmaması deməkdir. Qeyd olunmayan maddələr SEMI-STD-yə aid ola bilər. |