Gofret daşıyıcısının təqdimatı
MƏHSUL KATEQORİYASI
▶PECVD & TALOX Prosesi üçün Gofret Daşıyıcı Sistemi
• PECVD və TALOX Qrafit Qayığı (M4~M12)
• Şaquli SM-Qayıq (M4, M6)
• İmplant və duş üçün Qrafit Hissəsi (M4~M6)
• C/C Tablası və Seramik Kaplama
• Metal RIE-Tray və Keramika Kaplama
• Vakuum sızdırmazlığı: O-Ring və SQ-Ring
▶Teksturasiya və Yaş Aşınma Transfer Prosesi
• LSC H-Carrier və ya kaset (M4~M12)
• LSC V-Carrier və ya kaset (M4~M12)
• ASC daşıyıcısı və ya kaset (M4, M6)
• W/F Daşıyıcı və Saxlama Qutusu (M4~M12)
• Nəqliyyat Təkəri (Roller) Seriyası
▶Günəş batareyası daşıyıcısı və metal daşıyıcı
• TRC daşıyıcısı və ya kaset (M4~M12)
• Jurnal (BELT ilə)
QRAFİT QAYIĞI (H-Tipi)
19P6-216CT (WF M4~M12)
QRAFİT QAYIĞI (H-Tipi)
21P6-240CT WF M4~M12)
QRAFİT QAYIĞI (H-Tipi)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
QRAFİT QAYIĞI (H-Tipi)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
QRAFİT QAYIĞI (H-Tipi)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF daşıyıcısı və saxlama qutusu (~M12)
C/C TABLA və ya DAŞIYICI (M4~M10)
C/C TABLA və ya DAŞIYICI (M4~M10)
VERTİKAL QAYIK (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC daşıyıcısı(~M12)
TRC daşıyıcısı(~M12)
QRAFİT-QAYIQ(M12)
PECVD Prosesi üçün Gofret Daşıyıcı Sistemi
▶ QRAFİT QAYIK (CT-Dizayn) M10/M12 Prosesi
• XÜSUSİ DİZAYN KONSEPSİYASI
▶ QRAFİT QAYIK (CT-Dizayn) M4/M6 Prosesi
▶ QAYQA Aksesuar hissələri
▶ VERTİKAL QAYIK-161.7mm VAFRES
▶ VERTİKAL QAYIK-166mm VAFRES
▶ VERTİKAL QAYIK-161.7mm, 166mm VAFER
Günəş batareyası daşıyıcısı və metal TRC daşıyıcısı
NÖVÜ: Avtomatlaşdırma
WAFER ÖLÇÜSÜ: ① 156×156MM ② 156.75×156.75MM
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180×180mm ⑥ 210×210mm
İSTİFADƏ: Daşıma (Kaset)
TUTUCU: 100 vərəq
PITCH: 4.76MM/5.953mm/6.35mm
ÖLÇÜ: Təxminən 559×220×220MM
Təxminən 712×260×260MM
ÜSTÜNLÜĞÜ: Atmosfer
MATERİAL : Alov,YAN BARIŞ-Alüminium (anodizing)
YAN POMPA (Antistatik)
Alt çubuğun örtüyü-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-METAL DAŞIYICI (U'SER Xətti)
TRC-METAL DAŞIYICI (U'SER Xətti)
TRC-METAL DAŞIYICI (U'SER Xətti)
DUŞ PLANI VƏ İMPLANT, DAŞIYICI
