Rolling, silikon tək kristal çubuğun xarici diametrini almaz daşlama çarxından istifadə edərək tələb olunan diametrli tək kristal çubuğa üyütmək və düz kənar istinad səthinin və ya tək kristal çubuğun yerləşdirmə yivinin üyüdülməsi prosesinə aiddir.
Tək kristal soba tərəfindən hazırlanmış tək kristal çubuğun xarici diametri səthi hamar və düz deyil və diametri son tətbiqdə istifadə olunan silikon vaflinin diametrindən daha böyükdür. Tələb olunan çubuq diametri xarici diametrin yuvarlanması ilə əldə edilə bilər.
Yayma dəyirmanı düz kənar istinad səthini üyütmək və ya silikon tək kristal çubuqun yerləşdirmə yivini üyütmək funksiyasına malikdir, yəni tələb olunan diametrli tək kristal çubuqda istiqamət testini həyata keçirmək üçün. Eyni yayma dəyirmanı avadanlığında, tək kristal çubuqun yastı kənar istinad səthi və ya yerləşdirmə yivi üyüdülür. Ümumiyyətlə, diametri 200 mm-dən az olan tək kristal çubuqlar düz kənar istinad səthlərindən, diametri 200 mm və daha çox olan tək kristal çubuqlar isə yerləşdirmə yivlərindən istifadə edir. 200 mm diametrli tək kristal çubuqlar da lazım olduqda düz kənar istinad səthləri ilə hazırlana bilər. Tək kristal çubuq yönümlü istinad səthinin məqsədi inteqral sxem istehsalında texnoloji avadanlıqların avtomatlaşdırılmış yerləşdirilməsi əməliyyatının ehtiyaclarını ödəməkdir; istehsalın idarə edilməsini asanlaşdırmaq üçün silikon vaflinin kristal oriyentasiyasını və keçiricilik tipini və s. göstərmək; əsas yerləşdirmə kənarı və ya yerləşdirmə yivi <110> istiqamətinə perpendikulyardır. Çip qablaşdırma prosesi zamanı doğrama prosesi vaflinin təbii parçalanmasına səbəb ola bilər və yerləşdirmə də fraqmentlərin yaranmasının qarşısını ala bilər.
Yuvarlaqlaşdırma prosesinin əsas məqsədlərinə aşağıdakılar daxildir: Səthin keyfiyyətinin yaxşılaşdırılması: Yuvarlaqlaşdırma silikon vaflilərin səthindəki buruqları və qeyri-bərabərliyi aradan qaldıra və silikon vaflilərin səthinin hamarlığını yaxşılaşdıra bilər ki, bu da sonrakı fotolitoqrafiya və aşındırma prosesləri üçün çox vacibdir. Stressin azaldılması: Silikon vaflilərin kəsilməsi və işlənməsi zamanı gərginlik yarana bilər. Yuvarlaqlaşdırma bu gərginlikləri aradan qaldırmağa və sonrakı proseslərdə silikon vaflilərin qırılmasının qarşısını ala bilər. Silikon vaflilərin mexaniki dayanıqlığının yaxşılaşdırılması: Yuvarlaqlaşdırma prosesi zamanı silikon vaflilərin kənarları daha hamarlaşacaq ki, bu da silikon vaflilərin mexaniki möhkəmliyini yaxşılaşdırmağa və daşınma və istifadə zamanı zədələnmələri azaltmağa kömək edir. Ölçü dəqiqliyinin təmin edilməsi: Yuvarlaqlaşdırma ilə, yarımkeçirici cihazların istehsalı üçün çox vacib olan silikon vaflilərin ölçü dəqiqliyi təmin edilə bilər. Silikon vaflilərin elektrik xüsusiyyətlərinin yaxşılaşdırılması: Silikon vaflilərin kənar emalı onların elektrik xüsusiyyətlərinə mühüm təsir göstərir. Yuvarlaqlaşdırma, sızma cərəyanını azaltmaq kimi silikon vaflilərin elektrik xüsusiyyətlərini yaxşılaşdıra bilər. Estetik: Silikon vaflilərin kənarları yuvarlaqlaşdırıldıqdan sonra daha hamar və gözəl olur ki, bu da müəyyən tətbiq ssenariləri üçün lazımdır.
Göndərmə vaxtı: 30 iyul 2024-cü il