Tantal karbid (TaC)Tantal və karbonun TaC x kimyəvi formulu ilə ikili birləşməsidir, burada x adətən 0,4 və 1 arasında dəyişir. Onlar metal keçiriciliyə malik olduqca sərt, kövrək, odadavamlı keramika materiallarıdır. Onlar qəhvəyi-boz tozlardır və adətən sinterləmə yolu ilə emal olunur.
Tantal karbidmühüm metal keramika materialıdır. Tantal karbidinin çox vacib istifadəsi tantal karbid örtüyüdür.
Tantal karbid örtüyünün məhsul xüsusiyyətləri
Yüksək ərimə nöqtəsi: ərimə nöqtəsitantal karbidqədər yüksəkdir3880°C, bu onu yüksək temperaturlu mühitlərdə sabit edir və əriməsi və ya parçalanması asan deyil.
İş şəraiti:Ümumiyyətlə, Tantal karbidinin (TaC) normal İş şəraiti 2200°C-dir. Həddindən artıq yüksək ərimə nöqtəsini nəzərə alaraq, TaC struktur bütövlüyünü itirmədən belə yüksək temperaturlara dözmək üçün nəzərdə tutulmuşdur.
Sərtlik və aşınma müqaviməti: Çox yüksək sərtliyə malikdir (Mohs sərtliyi təxminən 9-10-dur) və aşınmaya və cızıqlara effektiv şəkildə müqavimət göstərə bilər.
Kimyəvi sabitlik: Əksər turşulara və qələvilərə yaxşı kimyəvi sabitliyə malikdir və korroziyaya və kimyəvi reaksiyalara müqavimət göstərə bilir.
İstilik keçiriciliyi: Yaxşı istilik keçiriciliyi ona istilik yığılmasının materiala təsirini azaldaraq istiliyi effektiv şəkildə yaymağa və keçirməyə imkan verir.
Yarımkeçirici sənayesində tətbiq ssenariləri və üstünlükləri
MOCVD avadanlığı: MOCVD (kimyəvi buxar çökmə) avadanlıqlarında,tantal karbid örtüklərireaksiya kamerasını və digər yüksək temperatur komponentlərini qorumaq, çöküntülərlə avadanlığın aşınmasını azaltmaq və avadanlığın xidmət müddətini uzatmaq üçün istifadə olunur.
Üstünlüklər: Avadanlığın yüksək temperatur müqavimətini yaxşılaşdırmaq, təmir tezliyini və xərclərini azaltmaq və istehsal səmərəliliyini artırmaq.
Gofret emalı: Vafli emalı və ötürmə sistemlərində istifadə edilən tantal karbid örtükləri avadanlığın aşınma müqavimətini və korroziyaya davamlılığını artıra bilər.
Üstünlüklər: Aşınma və ya korroziya nəticəsində yaranan məhsulun keyfiyyət problemlərini azaldın və vafli emalının sabitliyini və ardıcıllığını təmin edin.
Yarımkeçirici proses alətləri: İon implantatorları və aşındırıcılar kimi yarımkeçirici proses alətlərində tantal karbid örtükləri alətlərin davamlılığını yaxşılaşdıra bilər.
Üstünlüklər: Alətlərin xidmət müddətini uzadın, dayanma müddətini və dəyişdirmə xərclərini azaldın və istehsalın səmərəliliyini artırın.
Yüksək temperatur zonaları: Yüksək temperatur mühitində elektron komponentlər və cihazlarda, materialları yüksək temperaturdan qorumaq üçün tantal karbid örtükləri istifadə olunur.
Üstünlüklər: Ekstremal temperatur şəraitində elektron komponentlərin sabitliyini və etibarlılığını təmin edin.
Gələcək İnkişaf Trendləri
Materialın təkmilləşdirilməsi: Material elminin inkişafı ilə, formul və çökmə texnologiyasıtantal karbid örtüklərifəaliyyətini yaxşılaşdırmaq və xərcləri azaltmaq üçün təkmilləşdirməyə davam edəcək. Məsələn, daha davamlı və ucuz örtük materialları hazırlana bilər.
Depozit texnologiyası: Tantal karbid örtüklərinin keyfiyyətini və performansını optimallaşdırmaq üçün təkmilləşdirilmiş PVD və CVD texnologiyaları kimi daha səmərəli və dəqiq çökmə texnologiyalarına sahib olmaq mümkün olacaq.
Yeni Tətbiq Sahələri: Tətbiq sahələritantal karbid örtükləriyüksək məhsuldar materiallara olan tələbatı ödəmək üçün aerokosmik, enerji və avtomobil sənayesi kimi daha yüksək texnologiyalı və sənaye sahələrinə genişlənəcək.
Göndərmə vaxtı: 08 avqust 2024-cü il