Yarımkeçirici sənaye yüksək keyfiyyətli elektron cihazları istehsal etmək üçün yüksək ixtisaslaşdırılmış avadanlıqlara əsaslanır. Epitaksial böyümə prosesində belə kritik komponentlərdən biri epi pan daşıyıcısıdır. Bu avadanlıq epitaksial təbəqələrin yarımkeçirici vaflilərə çökdürülməsində əsas rol oynayır, son məhsulun vahidliyini və keyfiyyətini təmin edir.
Epitaksial qab daşıyıcısı, həmçinin epitaksiya qabı daşıyıcısı kimi tanınan epitaksial böyümə prosesində istifadə edilən xüsusi hazırlanmış qabdır. Epitaksial təbəqələrin çökməsi zamanı yarımkeçirici vafliləri saxlayır və dəstəkləyir. Bu daşıyıcılar yüksək temperaturlara və epitaksial proseslərə xas olan korroziyalı mühitlərə tab gətirmək üçün hazırlanmışdır və monokristal təbəqələrinin böyüməsi üçün sabit platforma təmin edir.
Materiallar və tikinti:
Epi tava daşıyıcıları adətən həddindən artıq temperaturlara dözə bilən və kimyəvi reaksiyalara davamlı materiallardan hazırlanır. Ümumi materiallara aşağıdakılar daxildir:
•Silikon karbid (SiC): Yüksək istilik keçiriciliyi və aşınmaya və oksidləşməyə qarşı müqaviməti ilə tanınan SiC, epi tava daşıyıcıları üçün məşhur seçimdir.
• Qrafit: Mükəmməl istilik xassələri və yüksək temperaturda struktur bütövlüyünü qorumaq qabiliyyətinə görə tez-tez istifadə olunur. Qrafit daşıyıcıları davamlılığını və korroziyaya davamlılığını artırmaq üçün adətən SiC ilə örtülür.
Epitaksial böyümə prosesində rolu:
Epitaksial böyümə prosesi bir substrat və ya vafli üzərində nazik bir kristal material qatının çökməsini nəzərdə tutur. Bu proses dəqiq elektrik xassələri olan yarımkeçirici cihazların yaradılmasında çox vacibdir. Epi tava daşıyıcısı vafli reaksiya kamerasında dəstəkləyir və çökmə prosesi zamanı onun sabit qalmasını təmin edir.
Epi pan daşıyıcısının əsas funksiyalarına aşağıdakılar daxildir:
• Vahid İstilik Paylanması: Daşıyıcı vaflidə bərabər istilik paylanmasını təmin edir ki, bu da epitaksial təbəqənin ardıcıl qalınlığına və keyfiyyətinə nail olmaq üçün vacibdir.
• Kimyəvi İzolyasiya: Sabit və təsirsiz səth təmin etməklə, daşıyıcı epitaksial təbəqənin keyfiyyətini pisləşdirə biləcək arzuolunmaz kimyəvi reaksiyaların qarşısını alır.
Yüksək Keyfiyyətin FaydalarıEpi Pan daşıyıcıları:
• Təkmilləşdirilmiş Cihaz Performansı: Vahid epitaksial təbəqələr yarımkeçirici cihazların üstün performansına kömək edir, nəticədə daha yaxşı səmərəlilik və etibarlılıq əldə edilir.
• Artan Məhsuldarlıq: Qüsurları minimuma endirərək və vahid təbəqənin çökməsini təmin etməklə, yüksək keyfiyyətli daşıyıcılar istifadə oluna bilən yarımkeçirici vaflilərin məhsuldarlığını yaxşılaşdırır.
• Azaldılmış Baxım Xərcləri: Davamlı materiallar və dəqiq mühəndislik tez-tez dəyişdirmə və texniki xidmət ehtiyacını azaldır, ümumi istehsal xərclərini azaldır.
Epi tava daşıyıcısı epitaksial böyümə prosesində mühüm komponentdir və yarımkeçirici cihazların keyfiyyətinə və ardıcıllığına birbaşa təsir göstərir. İstehsalçılar düzgün materialları və dizaynı seçməklə epitaksial prosesi optimallaşdıra bilər ki, bu da cihazın işinin yaxşılaşmasına və istehsal xərclərinin azalmasına səbəb olur. Qabaqcıl elektron cihazlara tələbat artdıqca yüksək keyfiyyətin əhəmiyyəti artırepi pan daşıyıcılarıyarımkeçirici sənayesində artmaqda davam edir.
Göndərmə vaxtı: 13 avqust 2024-cü il