Sublimasiya üsulu ilə CVD-SiC Kütləvi Mənbədən istifadə edərək SiC Tək Kristalının Sürətli Artması SiC mənbəyi kimi təkrar emal edilmiş CVD-SiC bloklarından istifadə etməklə, SiC kristalları PVT üsulu ilə 1,46 mm/saat sürətlə böyüdü. Yetişmiş kristalın mikroborusu və dislokasiya sıxlığı onu göstərir ki,...
Daha ətraflı oxuyun