Yarımkeçirici istehsalında istifadə olunan nazik filmlərin hamısı müqavimətə malikdir və film müqaviməti cihazın işinə birbaşa təsir göstərir. Biz adətən filmin mütləq müqavimətini ölçmürük, onu xarakterizə etmək üçün təbəqə müqavimətindən istifadə edirik.
Vərəq müqaviməti və həcm müqaviməti nədir?
Həcm müqaviməti, həmçinin həcm müqaviməti kimi tanınan, materialın elektrik cərəyanının axınına nə qədər mane olduğunu xarakterizə edən materialın xas xüsusiyyətidir. Ümumi istifadə olunan simvol ρ təmsil edir, vahid Ω-dir.
Vərəq müqaviməti, həmçinin təbəqə müqaviməti olaraq da bilinən İngilis adı təbəqə müqavimətidir, bu da filmin vahid sahəyə düşən müqavimət dəyərinə aiddir. Rs və ya ρs ifadə etmək üçün istifadə olunan simvollar, vahid Ω/sq və ya Ω/□-dir
İkisi arasındakı əlaqə belədir: təbəqə müqaviməti = həcm müqaviməti/film qalınlığı, yəni Rs =ρ/t
Niyə təbəqə müqavimətini ölçmək lazımdır?
Filmin mütləq müqavimətinin ölçülməsi filmin həndəsi ölçüləri (uzunluğu, eni, qalınlığı) haqqında dəqiq bilik tələb edir, bu ölçülər çox dəyişənlərə malikdir və çox nazik və ya qeyri-müntəzəm formalı plyonkalar üçün çox mürəkkəbdir. Vərəq müqaviməti yalnız filmin qalınlığı ilə bağlıdır və mürəkkəb ölçü hesablamaları olmadan tez və birbaşa sınaqdan keçirilə bilər.
Vərəq müqavimətini ölçmək üçün hansı filmlər lazımdır?
Ümumiyyətlə, keçirici filmlər və yarımkeçirici filmlər kvadrat müqavimət üçün ölçülməlidir, izolyasiya edən filmlərin ölçülməsinə ehtiyac yoxdur.
Yarımkeçirici dopinqdə silisiumun təbəqə müqaviməti də ölçülür.
Kvadrat müqaviməti necə ölçmək olar?
Dörd prob metodu ümumiyyətlə sənayedə istifadə olunur. Dörd zond üsulu 1E-3 ilə 1E+9Ω/sq arasında dəyişən kvadrat müqaviməti ölçə bilər. Dörd prob metodu zond və nümunə arasındakı təmas müqavimətinə görə ölçmə xətalarının qarşısını ala bilər.
Ölçmə üsulları:
1) Nümunənin səthinə dörd xətti düzülmüş zond qoyun.
2) İki xarici zond arasında sabit cərəyan tətbiq edin.
3) İki daxili zond arasındakı potensial fərqi ölçməklə müqaviməti təyin edin
RS: təbəqə müqaviməti
ΔV: Daxili zondlar arasında ölçülən gərginliyin dəyişməsi
I : Xarici zondlar arasında tətbiq olunan cərəyan
Göndərmə vaxtı: 29 mart 2024-cü il