İzostatik PECVD Qrafit Qayığı

İzostatik PECVD Qrafit Boat Xüsusi Şəkil

Qısa təsvir:

İzostatik PECVD qrafit qayığı yarımkeçirici istehsalının müxtəlif sahələrində, məsələn, polisilikon filmin çökməsi, oksid plyonkasının çökməsi, nitrid filminin çökməsi və s. kimi geniş istifadə olunur. Onun əla performansı onu PECVD prosesində ideal vafli daşıyıcıya çevirir.

Bizə e-poçt göndərin

Məhsul təfərrüatı

Məhsul Teqləri

SEMICERA izostatik PECVD qrafit qayığı PECVD (plazma gücləndirilmiş kimyəvi buxar çökmə) prosesində vafli dəstəyi üçün nəzərdə tutulmuş yüksək təmizlikli, yüksək sıxlıqlı qrafit məhsuludur. SEMICERA, qrafit qayığın əla yüksək temperatur müqavimətinə, korroziyaya davamlılığına, ölçü sabitliyinə və yarımkeçiricilərin istehsalı prosesində əvəzolunmaz istehlak materialı olan yaxşı istilik keçiriciliyinə malik olmasını təmin etmək üçün qabaqcıl izostatik presləmə texnologiyasından istifadə edir.

SEMICERA izostatik PECVD qrafit qayığı aşağıdakı üstünlüklərə malikdir:

▪ Yüksək təmizlik: Qrafit materialı vaflinin səthinin çirklənməsinin qarşısını almaq üçün yüksək təmizliyə və aşağı çirkliliyə malikdir.

▪ Yüksək sıxlıq: Yüksək sıxlıq, yüksək mexaniki qüvvə, yüksək temperatur və yüksək vakuum mühitinə tab gətirə bilir.

▪ Yaxşı ölçü sabitliyi: Prosesin sabitliyini təmin etmək üçün yüksək temperaturda kiçik ölçülü dəyişiklik.

▪ Mükəmməl istilik keçiriciliyi: Vaflinin həddindən artıq istiləşməsinin qarşısını almaq üçün istiliyi effektiv şəkildə ötürün.

▪ Güclü korroziyaya davamlılıq: Müxtəlif aşındırıcı qazlar və plazma ilə eroziyaya qarşı dura bilir.

Performans parametri	yarımkera	SGL R6510	Performans parametri
Kütləvi sıxlıq (q/sm3)	1.91	1.83	1.85
Bükülmə gücü (MPa)	63	60	49
Sıxılma gücü (MPa)	135	130	103
Sahil Sərtliyi (HS)	70	64	60
İstilik genişlənmə əmsalı（10-6/K）	85	105	130
İstilik genişlənmə əmsalı（10-6/K）	5.85	4.2	5.0
Müqavimət (μΩm)	11-13	13	10

Bizi seçməyin üstünlükləri:
▪ Material seçimi: Məhsulun keyfiyyətini təmin etmək üçün yüksək təmizlikli qrafit materiallardan istifadə edilir.
▪ Emal texnologiyası: Məhsulun sıxlığını və vahidliyini təmin etmək üçün izostatik presləmə istifadə olunur.
▪ Ölçü fərdiləşdirmə: Müxtəlif ölçülü və formalı qrafit qayıqlar müştəri ehtiyaclarına uyğun olaraq fərdiləşdirilə bilər.
▪ Səthin təmizlənməsi: Müxtəlif proses tələblərinə cavab vermək üçün örtmə silisium karbid, bor nitridi və s. kimi müxtəlif səthi təmizləmə üsulları təmin edilir.