RTPCVD SiC üzükləriyüksək temperaturda və aşındırıcı mühitlərdə sənaye və elmi sahələrdə geniş istifadə olunur. Yarımkeçirici istehsalında, optoelektronikada, dəqiq maşınqayırmada və kimya sənayesində mühüm rol oynayır. Xüsusi tətbiqlərə aşağıdakılar daxildir:
1. Yarımkeçiricilərin istehsalı:RTP CVD SiC üzüklərisabit temperatur nəzarətini təmin edən və prosesin dəqiqliyini və ardıcıllığını təmin edən yarımkeçirici avadanlıqların qızdırılması və soyudulması üçün istifadə edilə bilər.
2. Optoelektronika: Mükəmməl istilik keçiriciliyi və yüksək temperatur müqavimətinə görə RTPCVD SiC üzüklərilazerlər, fiber optik rabitə avadanlığı və optik komponentlər üçün dəstək və istilik yayılması materialları kimi istifadə edilə bilər.
3. Dəqiq maşın: RTP CVD SiC üzükləri yüksək temperaturlu sobalar, vakuum cihazları və kimyəvi reaktorlar kimi yüksək temperaturda və korroziyalı mühitlərdə dəqiq alətlər və avadanlıqlar üçün istifadə edilə bilər.
4. Kimya sənayesi: Korroziyaya davamlılığı və kimyəvi sabitliyinə görə RTP CVD SiC üzükləri kimyəvi reaksiyalarda və katalitik proseslərdə konteynerlərdə, borularda və reaktorlarda istifadə edilə bilər.
Epi sistemi
RTP sistemi
CVD Sistemi
Məhsulun performansı:
1. 28nm-dən aşağı proseslə tanış olun
2. Super korroziyaya davamlılıq
3. Super təmiz performans
4. Super sərtlik
5. Yüksək sıxlıq
6. Yüksək temperatur müqaviməti
7. Aşınma müqaviməti
Məhsul tətbiqi:
Silikon karbid materialları yüksək sərtlik, aşınma müqaviməti, korroziyaya davamlılıq və yüksək temperatur sabitliyi xüsusiyyətlərinə malikdir. Əla hərtərəfli performansa malik məhsullar quru aşındırma və TF/Diffuziya proseslərində geniş istifadə olunur.
Məhsulun performansı:
1. 28nm-dən aşağı proseslə tanış olun
2. Super korroziyaya davamlılıq
3. Super təmiz performans
4. Super sərtlik
5. Yüksək sıxlıq
6. Yüksək temperatur müqaviməti
7. Aşınma müqaviməti
Kompozit prosesin inkişafı:
Qrafit +Sic örtük
Solide CvD sic
Sinterlənmiş SiC+CVD
SicSintered SiC
Çoxlu məhsul növlərinin inkişafı:
Üzük
Cədvəl
Qəbuledici
Duş başlığı
