Semicera-nın 8 düymlük N-tipli SiC vafliləri yüksək performanslı elektron cihazların inkişafı üçün möhkəm baza təmin edərək yarımkeçirici innovasiyaların önündədir. Bu vaflilər güc elektronikasından tutmuş yüksək tezlikli dövrələrə qədər müasir elektron tətbiqlərin ciddi tələblərinə cavab vermək üçün nəzərdə tutulmuşdur.
Bu SiC vaflilərindəki N tipli dopinq onların elektrik keçiriciliyini artırır və onları güc diodları, tranzistorlar və gücləndiricilər də daxil olmaqla geniş tətbiqlər üçün ideal edir. Üstün keçiricilik yüksək tezliklərdə və güc səviyyələrində işləyən cihazlar üçün vacib olan minimum enerji itkisini və səmərəli işləməyi təmin edir.
Semicera, müstəsna səth vahidliyi və minimal qüsurlarla SiC vafliləri istehsal etmək üçün qabaqcıl istehsal üsullarından istifadə edir. Bu dəqiqlik səviyyəsi aerokosmik, avtomobil və telekommunikasiya sənayesi kimi ardıcıl performans və davamlılıq tələb edən tətbiqlər üçün vacibdir.
Semicera-nın 8 düymlük N-tipli SiC vaflilərinin istehsal xəttinizə daxil edilməsi sərt mühitlərə və yüksək temperaturlara tab gətirə bilən komponentlər yaratmaq üçün zəmin yaradır. Bu vaflilər enerjinin çevrilməsi, RF texnologiyası və digər tələb olunan sahələrdə tətbiqlər üçün mükəmməldir.
Semicera-nın 8 düymlük N-tipli SiC vaflisini seçmək yüksək keyfiyyətli material elmini dəqiq mühəndislik ilə birləşdirən məhsula investisiya etmək deməkdir. Semicera elektron cihazlarınızın səmərəliliyini və etibarlılığını artıran həllər təklif edərək yarımkeçirici texnologiyalarının imkanlarını inkişaf etdirməyə sadiqdir.
| Əşyalar | İstehsal | Araşdırma | dummy |
| Kristal parametrləri | |||
| Politip | 4H | ||
| Səth oriyentasiya xətası | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrik Parametrləri | |||
| Dopant | n tipli azot | ||
| Müqavimət | 0,015-0,025ohm·sm | ||
| Mexaniki Parametrlər | |||
| Diametri | 150,0±0,2 mm | ||
| Qalınlıq | 350±25 μm | ||
| İlkin düz oriyentasiya | [1-100]±5° | ||
| İlkin düz uzunluq | 47,5±1,5 mm | ||
| İkinci dərəcəli mənzil | Heç biri | ||
| TTV | ≤5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤3 μm (5mm*5mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤10 μm (5mm*5mm) |
| Yay | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Çarpma | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Ön (Si-üz) pürüzlülük (AFM) | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Struktur | |||
| Mikroborunun sıxlığı | <1 ea/sm2 | <10 ea/sm2 | <15 e/sm2 |
| Metal çirkləri | ≤5E10atom/sm2 | NA | |
| BPD | ≤1500 ea/sm2 | ≤3000 ea/sm2 | NA |
| TSD | ≤500 ea/sm2 | ≤1000 ea/sm2 | NA |
| Ön keyfiyyət | |||
| Ön | Si | ||
| Səthi bitirmə | Si-üzlü CMP | ||
| hissəciklər | ≤60ea/vafli (ölçüsü≥0.3μm) | NA | |
| cızıqlar | ≤5ea/mm. Kümülatif uzunluq ≤Diametr | Kümülatif uzunluq≤2*Diametr | NA |
| Portağal qabığı / çuxurlar / ləkələr / cızıqlar / çatlar / çirklənmə | Heç biri | NA | |
| Kənar çiplər / girintilər / qırıqlar / altıbucaqlı lövhələr | Heç biri | ||
| Politip sahələr | Heç biri | Kumulyativ sahə≤20% | Kumulyativ sahə≤30% |
| Ön lazer markalanması | Heç biri | ||
| Arxa Keyfiyyət | |||
| Arxa bitiş | C-üzlü CMP | ||
| cızıqlar | ≤5ea/mm,Kumulyativ uzunluq≤2*Diametr | NA | |
| Arxa qüsurlar (kənar çipləri / girintilər) | Heç biri | ||
| Arxa pürüzlülük | Ra≤0.2nm (5μm*5μm) | ||
| Arxa lazer markalanması | 1 mm (yuxarı kənardan) | ||
| Kənar | |||
| Kənar | pax | ||
| Qablaşdırma | |||
| Qablaşdırma | Vakuum qablaşdırma ilə epi-hazır Çox vafli kaset qablaşdırması | ||
| *Qeydlər: "NA" sorğunun olmaması deməkdir. Qeyd olunmayan maddələr SEMI-STD-yə aid ola bilər. | |||
